Epitaxie din carbură de siliciu

Scurtă descriere:

Epitaxie din carbură de siliciu– Straturi epitaxiale de înaltă calitate, adaptate pentru aplicații avansate de semiconductor, oferind performanță și fiabilitate superioare pentru electronicele de putere și dispozitivele optoelectronice.


Detaliu produs

Etichete de produs

a lui SemiceraEpitaxie din carbură de siliciueste conceput pentru a satisface cerințele riguroase ale aplicațiilor moderne de semiconductori. Prin utilizarea tehnicilor avansate de creștere epitaxială, ne asigurăm că fiecare strat de carbură de siliciu prezintă o calitate cristalină excepțională, uniformitate și densitate minimă a defectelor. Aceste caracteristici sunt cruciale pentru dezvoltarea electronicii de putere de înaltă performanță, unde eficiența și managementul termic sunt primordiale.

TheEpitaxie din carbură de siliciuprocesul de la Semicera este optimizat pentru a produce straturi epitaxiale cu grosimi precise și control al dopajului, asigurând performanțe consistente pe o gamă largă de dispozitive. Acest nivel de precizie este esențial pentru aplicațiile în vehicule electrice, sisteme de energie regenerabilă și comunicații de înaltă frecvență, unde fiabilitatea și eficiența sunt esențiale.

Mai mult, a lui SemiceraEpitaxie din carbură de siliciuoferă o conductivitate termică îmbunătățită și o tensiune de avarie mai mare, făcându-l alegerea preferată pentru dispozitivele care funcționează în condiții extreme. Aceste proprietăți contribuie la o durată de viață mai lungă a dispozitivului și la îmbunătățirea eficienței generale a sistemului, în special în medii cu putere mare și temperatură ridicată.

Semicera oferă, de asemenea, opțiuni de personalizare pentruEpitaxie din carbură de siliciu, permițând soluții personalizate care îndeplinesc cerințele specifice ale dispozitivului. Fie pentru cercetare sau producție la scară largă, straturile noastre epitaxiale sunt concepute pentru a sprijini următoarea generație de inovații în semiconductori, permițând dezvoltarea de dispozitive electronice mai puternice, mai eficiente și mai fiabile.

Prin integrarea tehnologiei de ultimă oră și a proceselor stricte de control al calității, Semicera asigură că noastreEpitaxie din carbură de siliciuprodusele nu numai că îndeplinesc, dar depășesc standardele industriei. Acest angajament față de excelență face din straturile noastre epitaxiale baza ideală pentru aplicațiile avansate de semiconductori, deschizând calea pentru descoperiri în electronica de putere și optoelectronica.

Articole

Productie

Cercetare

Manichin

Parametrii cristalului

Politip

4H

Eroare de orientare la suprafață

<11-20 >4±0,15°

Parametrii electrici

Dopant

azot de tip n

Rezistivitate

0,015-0,025 ohm·cm

Parametri mecanici

Diametru

150,0±0,2mm

Grosime

350±25 μm

Orientare plată primară

[1-100]±5°

Lungime plată primară

47,5±1,5mm

Apartament secundar

Nici unul

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Arc

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Urzeală

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Rugozitate frontală (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Structura

Densitatea microconductelor

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Impurități metalice

≤5E10atomi/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Calitate față

Faţă

Si

Finisaj de suprafață

Si-face CMP

Particule

≤60ea/napolitana (dimensiune≥0,3μm)

NA

Zgârieturi

≤5ea/mm. Lungime cumulativă ≤Diametru

Lungime cumulativă≤2*Diametru

NA

Coaja de portocală/sâmburi/pete/striații/crăpături/contaminare

Nici unul

NA

Așchii de margine/indentări/fractură/plăci hexagonale

Nici unul

Zone politip

Nici unul

Suprafata cumulata≤20%

Suprafata cumulata≤30%

Marcaj frontal cu laser

Nici unul

Calitate din spate

Finisaj spate

C-face CMP

Zgârieturi

≤5ea/mm, lungime cumulativă≤2*Diametru

NA

Defecte din spate (așchii de margini/indentări)

Nici unul

Rugozitatea spatelui

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Marcare cu laser pe spate

1 mm (de la marginea de sus)

Margine

Margine

Teşit

Ambalare

Ambalare

Epi-gata cu ambalare în vid

Ambalare casete multi-plachete

*Note: „NA” înseamnă nicio solicitare. Articolele nemenționate se pot referi la SEMI-STD.

tech_1_2_size
Napolitane SiC

  • Anterior:
  • Următorul: