Piese de proces de gravare

Suporturi de acoperire SiC pentru gravarea semiconductoarelor
Placă suport RTA din carbură de siliciu pentru semiconductor
Purtător SiC pentru tratament termic cu încălzire rapidă RTP/RTA
Tavi de pin SiC pentru procesele de gravare ICP din industria LED-urilor
Purtător de procesare PSS pentru transmisia plachetelor semiconductoare
Tavă personalizată ICP Semiconductor (gravare)
Tavă pentru rulmenți din carbură de siliciu, tavă ICP (Etch)
Tavă de gravare cu carbură de siliciu cu LED rezistentă la temperaturi ridicate și la coroziune (tavă de gravare ICP)