Proces de acoperire cu SiC pentru suporturi de grafit acoperite cu SiC pe bază de grafit

Scurta descriere:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. este un furnizor de top de ceramică semiconductoare avansată.Produsele noastre principale includ: discuri gravate cu carbură de siliciu, remorci pentru bărci cu carbură de siliciu, vase cu carbură de siliciu (PV și semiconductor), tuburi pentru cuptor cu carbură de siliciu, palete cantilever din carbură de siliciu, mandră din carbură de siliciu, grinzi din carbură de siliciu, precum și acoperiri CVD SiC și Acoperiri TaC.
Produsele sunt utilizate în principal în industriile semiconductoare și fotovoltaice, cum ar fi echipamentele pentru creșterea cristalelor, epitaxie, gravare, ambalare, acoperire și difuzie.

 

Detaliile produsului

Etichete de produs

Descriere

Menținem toleranțe foarte strânse la aplicareaAcoperire SiC, folosind prelucrare de înaltă precizie pentru a asigura un profil susceptor uniform.De asemenea, producem materiale cu proprietăți de rezistență electrică ideale pentru utilizarea în sisteme încălzite inductiv.Toate componentele finite vin cu un certificat de puritate și conformitate dimensională.

Compania noastră oferăAcoperire SiCservicii de procesare prin metoda CVD pe suprafata grafitului, ceramicii si a altor materiale, astfel incat gazele speciale care contin carbon si siliciu sa reactioneze la temperatura ridicata pentru a obtine molecule de SiC de inalta puritate, molecule depuse pe suprafata materialelor acoperite, formand stratul protector SIC.SIC format este ferm lipit de baza de grafit, dând proprietăți speciale bazei de grafit, făcând astfel suprafața grafitului compactă, fără porozitate, rezistență la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune și rezistență la oxidare.

gf (1)

Procesul CVD oferă o puritate extrem de ridicată și o densitate teoretică aAcoperire SiCfără porozitate.În plus, deoarece carbura de siliciu este foarte dura, poate fi lustruită până la o suprafață asemănătoare oglinzii.Acoperire cu carbură de siliciu CVD (SiC).a oferit mai multe avantaje, inclusiv suprafața de puritate ultra-înaltă și durabilitatea extremă la uzură.Deoarece produsele acoperite au o performanță excelentă în condiții de vid ridicat și temperatură ridicată, ele sunt ideale pentru aplicații în industria semiconductoarelor și alte medii ultra-curate.De asemenea, oferim produse din grafit pirolitic (PG).

 

Caracteristici principale

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate:
rezistența la oxidare este încă foarte bună atunci când temperatura este de până la 1600 C.
2. Puritate ridicată: realizat prin depunere chimică de vapori în condiții de clorinare la temperatură ridicată.
3. Rezistență la eroziune: duritate mare, suprafață compactă, particule fine.
4. Rezistență la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.

Principal-05

Principal-04

Principal-03

Specificații principale ale acoperirilor CVD-SIC

SiC-CVD
Densitate (g/cc) 3.21
Rezistență la încovoiere (Mpa) 470
Dilatare termică (10-6/K) 4
Conductivitate termică (W/mK) 300

Aplicație

Acoperirea cu carbură de siliciu CVD a fost deja aplicată în industriile semiconductoare, cum ar fi tava MOCVD, RTP și camera de gravare cu oxid, deoarece nitrura de siliciu are o rezistență mare la șocuri termice și poate rezista la plasmă de înaltă energie.
-Carbura de siliciu este utilizată pe scară largă în semiconductori și acoperiri.

Aplicație

Abilitatea de alimentare:
10000 bucăți/bucăți pe lună
Ambalare și livrare:
Ambalare: Ambalare standard și puternică
Poli sac + cutie + cutie + palet
Port:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Perioada de graţie:

Cantitate (bucați) 1 – 1000 >1000
EST.Timp (zile) 15 De negociat
Semicera Locul de munca
Locul de muncă semicer 2
Mașină de echipare
Procesare CNN, curățare chimică, acoperire CVD
Serviciul nostru

  • Anterior:
  • Următorul: