RTP CVD SiC Ring

Scurtă descriere:

Inelele RTP CVD SiC sunt compuse în principal din carbură de siliciu (SiC), a cărei compoziție chimică și structură cristalină îi conferă performanțe excelente. Carbura de siliciu este un material ceramic cu punct de topire ridicat, duritate ridicată și rezistență excelentă la coroziune. Prezintă o bună conductivitate termică și stabilitate chimică la temperaturi ridicate și are o rezistență mecanică și rezistență la uzură excelente.

Trimiteți-ne un e-mail

Detaliu produs

Etichete de produs

De ce este inelul de gravare cu carbură de siliciu?

RTPInele CVD SiCsunt utilizate pe scară largă în domeniile industriale și științifice în medii cu temperaturi ridicate și corozive. Joacă un rol important în producția de semiconductori, optoelectronică, mașini de precizie și industria chimică. Aplicațiile specifice includ:

1. Fabricarea semiconductorilor:RTP CVD inele SiCpoate fi folosit pentru încălzirea și răcirea echipamentelor semiconductoare, oferind un control stabil al temperaturii și asigurând acuratețea și consistența procesului.

2. Optoelectronica: Datorita conductibilitatii sale termice excelente si rezistentei la temperaturi ridicate, RTPInele CVD SiCpoate fi folosit ca suport și materiale de disipare a căldurii pentru lasere, echipamente de comunicații cu fibră optică și componente optice.

3. Mașini de precizie: inelele RTP CVD SiC pot fi utilizate pentru instrumente și echipamente de precizie în medii de temperatură ridicată și corozive, cum ar fi cuptoare de temperatură înaltă, dispozitive de vid și reactoare chimice.

4. Industria chimică: Datorită rezistenței la coroziune și stabilității chimice, inelele RTP CVD SiC pot fi utilizate în recipiente, țevi și reactoare în reacții chimice și procese catalitice.

Sistemul Epi

Sistemul RTP

Sistemul CVD

Performanța produsului:

1. Întâlnește procesul sub 28nm

2. Super rezistență la coroziune

3. Performanță super curată

4. Super duritate

5. Densitate mare

6. Rezistență la temperaturi ridicate

7. Rezistenta la uzura

Aplicarea produsului:

Materialele din carbură de siliciu au caracteristici de duritate ridicată, rezistență la uzură, rezistență la coroziune și stabilitate la temperaturi ridicate. Produsele cu performanțe complete excelente sunt utilizate pe scară largă în procesele de gravare uscată și TF/difuziune.