Braț de manipulare a napolitaneloreste un echipament cheie utilizat în procesul de fabricație a semiconductorilor pentru a manipula, transfera și poziționanapolitane. Acesta constă, de obicei, dintr-un braț robotic, o prindere și un sistem de control, cu capacități precise de mișcare și poziționare.Brațe de manipulare a napolitanelorsunt utilizate pe scară largă în diverse legături în producția de semiconductori, inclusiv etapele procesului, cum ar fi încărcarea plachetelor, curățarea, depunerea filmului subțire, gravarea, litografie și inspecție. Precizia, fiabilitatea și capacitățile sale de automatizare sunt esențiale pentru a asigura calitatea, eficiența și consecvența procesului de producție.
Principalele funcții ale brațului de manipulare a plachetelor includ:
1. Transfer de napolitane: brațul de manipulare a napolitanelor este capabil să transfere cu precizie napolitane dintr-o locație în alta, cum ar fi luarea napolitanelor dintr-un suport de depozitare și plasarea lor într-un dispozitiv de procesare.
2. Poziționare și orientare: Brațul de manipulare a plachetei este capabil să poziționeze și să orienteze cu precizie placheta pentru a asigura alinierea și poziționarea corectă pentru operațiunile ulterioare de prelucrare sau măsurare.
3. Prinderea și eliberarea: Brațele de manipulare a napolitanelor sunt de obicei echipate cu cleme care pot prinde în siguranță napolitanele și le pot elibera atunci când este necesar pentru a asigura transferul și manipularea în siguranță a napolitanelor.
4. Control automat: Brațul de manipulare a plachetelor este echipat cu un sistem de control avansat care poate executa automat secvențe de acțiuni predeterminate, poate îmbunătăți eficiența producției și poate reduce erorile umane.
Caracteristici și avantaje
1.Dimensiuni precise și stabilitate termică.
2. Rigiditate specifică ridicată și uniformitate termică excelentă, utilizarea pe termen lung nu este ușor de îndoit deformarea.
3. Are o suprafață netedă și o rezistență bună la uzură, manevrând astfel în siguranță cip fără contaminare cu particule.
4. Rezistivitate din carbură de siliciu în 106-108Ω, nemagnetică, în conformitate cu cerințele specificațiilor anti-ESD; Poate preveni acumularea de electricitate statică pe suprafața cipului.
5. Conductivitate termică bună, coeficient de expansiune scăzut.
