Semicera introduceSuport casete napolitane, o soluție critică pentru manipularea sigură și eficientă a plachetelor semiconductoare. Acest suport este proiectat pentru a satisface cerințele stricte ale industriei semiconductoarelor, asigurând protecția și integritatea plachetelor dumneavoastră pe tot parcursul procesului de fabricație.
Caracteristici cheie:
•Construcție robustă:TheSuport casete napolitaneeste construit din materiale de înaltă calitate, durabile, care rezistă rigorilor mediilor semiconductoare, oferind protecție fiabilă împotriva contaminării și a daunelor fizice.
•Aliniere precisă:Proiectat pentru alinierea precisă a plachetelor, acest suport asigură menținerea în siguranță a plachetelor, reducând la minimum riscul de nealiniere sau deteriorare în timpul transportului.
•Manevrare usoara:Proiectat ergonomic pentru ușurință în utilizare, suportul simplifică procesul de încărcare și descărcare, îmbunătățind eficiența fluxului de lucru în mediile camerelor curate.
•Compatibilitate:Compatibil cu o gamă largă de dimensiuni și tipuri de plachete, făcându-l versatil pentru diverse nevoi de fabricare a semiconductorilor.
Experimentați o protecție și un confort de neegalat cu SemiceraSuport casete napolitane. Suportul nostru este proiectat să îndeplinească cele mai înalte standarde de fabricație a semiconductoarelor, asigurându-vă că vaferele dumneavoastră rămân în stare impecabilă de la început până la sfârșit. Aveți încredere în Semicera pentru a vă oferi calitatea și fiabilitatea de care aveți nevoie pentru cele mai critice procese.
| Articole | Productie | Cercetare | Manichin |
| Parametrii cristalului | |||
| Politip | 4H | ||
| Eroare de orientare la suprafață | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametrii electrici | |||
| Dopant | azot de tip n | ||
| Rezistivitate | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Parametri mecanici | |||
| Diametru | 150,0±0,2mm | ||
| Grosime | 350±25 μm | ||
| Orientare plată primară | [1-100]±5° | ||
| Lungime plată primară | 47,5±1,5mm | ||
| Apartament secundar | Nici unul | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Arc | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Urzeală | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Rugozitate frontală (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Structura | |||
| Densitatea microconductelor | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Impurități metalice | ≤5E10atomi/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Calitate față | |||
| Faţă | Si | ||
| Finisaj de suprafață | Si-face CMP | ||
| Particule | ≤60ea/napolitana (dimensiune≥0,3μm) | NA | |
| Zgârieturi | ≤5ea/mm. Lungime cumulativă ≤Diametru | Lungime cumulativă≤2*Diametru | NA |
| Coaja de portocală/sâmburi/pete/striații/crăpături/contaminare | Nici unul | NA | |
| Așchii de margine/indentări/fractură/plăci hexagonale | Nici unul | ||
| Zone politip | Nici unul | Suprafata cumulata≤20% | Suprafata cumulata≤30% |
| Marcaj frontal cu laser | Nici unul | ||
| Calitate din spate | |||
| Finisaj spate | C-face CMP | ||
| Zgârieturi | ≤5ea/mm, lungime cumulativă≤2*Diametru | NA | |
| Defecte din spate (așchii de margini/indentări) | Nici unul | ||
| Rugozitatea spatelui | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Marcare cu laser pe spate | 1 mm (de la marginea de sus) | ||
| Margine | |||
| Margine | Teşitură | ||
| Ambalare | |||
| Ambalare | Epi-gata cu ambalare în vid Ambalare casete multi-plachete | ||
| *Note: „NA” înseamnă nicio solicitare. Articolele nemenționate se pot referi la SEMI-STD. | |||
