Procesare MEMS - Bonding: Aplicație și performanță în industria semiconductoarelor, Serviciu personalizat Semicera
În industriile microelectronică și semiconductoare, tehnologia MEMS (sisteme micro-electromecanice) a devenit una dintre tehnologiile de bază care impulsionează inovația și echipamentele de înaltă performanță. Odată cu progresul științei și tehnologiei, tehnologia MEMS a fost utilizată pe scară largă în senzori, actuatoare, dispozitive optice, echipamente medicale, electronice auto și alte domenii și a devenit treptat o parte indispensabilă a tehnologiei moderne. În aceste domenii, procesul de legare (bonding), ca pas cheie în procesarea MEMS, joacă un rol vital în performanța și fiabilitatea dispozitivului.
Lipirea este o tehnologie care combină ferm două sau mai multe materiale prin mijloace fizice sau chimice. De obicei, diferite straturi de material trebuie conectate prin lipire în dispozitive MEMS pentru a obține integritatea structurală și realizarea funcțională. În procesul de fabricație a dispozitivelor MEMS, legarea nu este doar un proces de conectare, ci afectează direct stabilitatea termică, rezistența mecanică, performanța electrică și alte aspecte ale dispozitivului.
În procesarea MEMS de înaltă precizie, tehnologia de lipire trebuie să asigure o legătură strânsă între materiale, evitând în același timp orice defecte care afectează performanța dispozitivului. Prin urmare, controlul precis al procesului de lipire și materialele de lipire de înaltă calitate sunt factori cheie pentru a se asigura că produsul final îndeplinește standardele industriei.
Aplicații de legare MEMS în industria semiconductoarelor
În industria semiconductoarelor, tehnologia MEMS este utilizată pe scară largă în producția de microdispozitive, cum ar fi senzori, accelerometre, senzori de presiune și giroscoape. Odată cu creșterea cererii de produse miniaturizate, integrate și inteligente, cerințele de acuratețe și performanță ale dispozitivelor MEMS sunt, de asemenea, în creștere. În aceste aplicații, tehnologia de lipire este utilizată pentru a conecta diferite materiale, cum ar fi plachete de siliciu, sticlă, metale și polimeri, pentru a obține funcții eficiente și stabile.
1. Senzori de presiune și accelerometre
În domeniile automobilelor, aerospațiale, electronice de larg consum etc., senzorii de presiune și accelerometrele MEMS sunt utilizate pe scară largă în sistemele de măsurare și control. Procesul de lipire este utilizat pentru a conecta cipurile de siliciu și elementele senzorilor pentru a asigura o sensibilitate și precizie ridicate. Acești senzori trebuie să fie capabili să reziste la condiții de mediu extreme, iar procesele de lipire de înaltă calitate pot preveni în mod eficient desprinderea sau funcționarea defectuoasă a materialelor din cauza schimbărilor de temperatură.
2. Dispozitive micro-optice și comutatoare optice MEMS
În domeniul comunicațiilor optice și al dispozitivelor laser, dispozitivele optice MEMS și comutatoarele optice joacă un rol important. Tehnologia de legătură este utilizată pentru a realiza o conexiune precisă între dispozitivele MEMS pe bază de siliciu și materiale precum fibrele optice și oglinzile pentru a asigura eficiența și stabilitatea transmisiei semnalului optic. În special în aplicațiile cu frecvență înaltă, lățime de bandă largă și transmisie pe distanțe lungi, tehnologia de înaltă performanță este crucială.
3. Giroscoape MEMS și senzori inerțiali
Giroscoapele MEMS și senzorii inerțiali sunt utilizați pe scară largă pentru navigare și poziționare precisă în industrii de vârf, cum ar fi conducerea autonomă, robotica și aerospațial. Procesele de lipire de înaltă precizie pot asigura fiabilitatea dispozitivelor și pot evita degradarea performanței sau defecțiunea în timpul funcționării pe termen lung sau a funcționării de înaltă frecvență.
Cerințe cheie de performanță ale tehnologiei de lipire în procesarea MEMS
În procesarea MEMS, calitatea procesului de lipire determină în mod direct performanța, durata de viață și stabilitatea dispozitivului. Pentru a se asigura că dispozitivele MEMS pot funcționa în mod fiabil pentru o lungă perioadă de timp în diferite scenarii de aplicare, tehnologia de legătură trebuie să aibă următoarele performanțe cheie:
1. Stabilitate termică ridicată
Multe medii de aplicare din industria semiconductoarelor au condiții de temperatură ridicată, în special în domeniul automobile, aerospațial etc. Stabilitatea termică a materialului de lipire este crucială și poate rezista la schimbările de temperatură fără degradare sau defecțiune.
2. Rezistență mare la uzură
Dispozitivele MEMS implică de obicei structuri micro-mecanice, iar frecarea și mișcarea pe termen lung pot cauza uzura pieselor de conectare. Materialul de lipire trebuie să aibă o rezistență excelentă la uzură pentru a asigura stabilitatea și eficiența dispozitivului în utilizare pe termen lung.
3. Puritate ridicată
Industria semiconductoarelor are cerințe foarte stricte privind puritatea materialului. Orice contaminant mic poate cauza defectarea dispozitivului sau degradarea performanței. Prin urmare, materialele utilizate în procesul de lipire trebuie să aibă o puritate extrem de ridicată pentru a se asigura că dispozitivul nu este afectat de contaminarea externă în timpul funcționării.
4. Precizie de lipire precisă
Dispozitivele MEMS necesită adesea precizie de procesare la nivel de microni sau chiar la nivel de nanometri. Procesul de lipire trebuie să asigure andocarea precisă a fiecărui strat de material pentru a se asigura că funcționarea și performanța dispozitivului nu sunt afectate.
Legatura anodica
Legatura anodica:
● Aplicabil pentru lipirea dintre plachetele de siliciu și sticlă, metal și sticlă, semiconductor și aliaj și semiconductor și sticlă
Legatura eutectoida:
● Aplicabil la materiale precum PbSn, AuSn, CuSn și AuSi
Lipire cu lipici:
● Utilizați adeziv special pentru lipire, potrivit pentru lipici special, cum ar fi AZ4620 și SU8
● Aplicabil la 4-inch și 6-inch
Serviciu de lipire personalizată Semicera
În calitate de furnizor lider în industrie de soluții de procesare MEMS, Semicera se angajează să ofere clienților servicii de lipire personalizate de înaltă precizie și stabilitate ridicată. Tehnologia noastră de lipire poate fi utilizată pe scară largă în conectarea diferitelor materiale, inclusiv siliciu, sticlă, metal, ceramică etc., oferind soluții inovatoare pentru aplicații high-end în domeniul semiconductorilor și MEMS.
Semicera dispune de echipamente avansate de producție și echipe tehnice și poate oferi soluții de lipire personalizate în funcție de nevoile specifice ale clienților. Fie că este vorba de o conexiune fiabilă în condiții de temperatură ridicată și presiune înaltă, fie că este vorba de lipire precisă a micro-dispozitivelor, Semicera poate îndeplini diverse cerințe complexe de proces pentru a se asigura că fiecare produs poate îndeplini cele mai înalte standarde de calitate.
Serviciul nostru de lipire personalizată nu se limitează la procesele convenționale de lipire, ci include, de asemenea, lipirea metalelor, lipirea prin compresie termică, lipirea cu adeziv și alte procese, care pot oferi suport tehnic profesionist pentru diferite materiale, structuri și cerințe de aplicare. În plus, Semicera poate oferi clienților servicii complete, de la dezvoltarea de prototipuri până la producția de masă, pentru a se asigura că fiecare cerință tehnică a clienților poate fi realizată cu exactitate.
