Placă suport susceptor acoperită cu carbură de tantaleste un susceptor sau o structură de susținere care este acoperită cu un strat subțire decarbură de tantal. Această acoperire poate fi formată pe suprafața susceptorului prin tehnici precum depunerea fizică în vapori (PVD) sau depunerea chimică în vapori (CVD), oferind susceptorului proprietățile superioare decarbură de tantal.
Semicera oferă acoperiri specializate de carbură de tantal (TaC) pentru diferite componente și suporturi.Procesul de acoperire lider Semicera permite acoperirilor cu carbură de tantal (TaC) să atingă puritate ridicată, stabilitate la temperatură ridicată și toleranță chimică ridicată, îmbunătățind calitatea produsului cristalelor SIC/GAN și a straturilor EPI (Susceptor TaC acoperit cu grafit) și prelungirea duratei de viață a componentelor cheie ale reactorului. Utilizarea acoperirii cu carbură de tantal TaC este de a rezolva problema marginii și de a îmbunătăți calitatea creșterii cristalelor, iar Semicera a rezolvat tehnologia de acoperire cu carbură de tantal (CVD), atingând un nivel internațional avansat.
După ani de dezvoltare, Semicera a cucerit tehnologia deCVD TaCcu eforturile comune ale departamentului R&D. Defecte sunt ușor să apară în procesul de creștere a napolitanelor de SiC, dar după utilizareTaC, diferenta este semnificativa. Mai jos este o comparație a napolitanelor cu și fără TaC, precum și a pieselor Simicera pentru creșterea unui singur cristal.
Principalele caracteristici ale plăcilor de suport de bază acoperite cu carbură de tantal includ:
1. Stabilitate la temperatură ridicată: Carbura de tantal are o stabilitate excelentă la temperatură ridicată, făcând placa suport de bază acoperită potrivită pentru nevoile de suport în medii de lucru cu temperaturi ridicate.
2. Rezistență la coroziune: Acoperirea cu carbură de tantal are o rezistență bună la coroziune, poate rezista la coroziune chimică și la oxidare și prelungește durata de viață a bazei.
3. Duritate ridicată și rezistență la uzură: duritatea ridicată a stratului de carbură de tantal conferă plăcii suport de bază o bună rezistență la uzură, care este potrivită pentru ocaziile care necesită rezistență ridicată la uzură.
4. Stabilitate chimică: Carbura de tantal are stabilitate ridicată la o varietate de substanțe chimice, ceea ce face ca placa suport de bază acoperită să funcționeze bine în unele medii corozive.
cu și fără TaC
După utilizarea TaC (dreapta)
Mai mult, a lui SemiceraProduse acoperite cu TaCprezintă o durată de viață mai lungă și o rezistență mai mare la temperatură înaltă în comparație cuAcoperiri SiC.Măsurătorile de laborator au demonstrat că noastreAcoperiri TaCpoate funcționa constant la temperaturi de până la 2300 de grade Celsius pentru perioade lungi. Mai jos sunt câteva exemple din mostrele noastre:
