Foaie de grafit acoperită cu carbură de tantaleste un material grafit cu un strat subțire decarbură de tantalpe suprafata substratului. Stratul subțire de carbură de tantal este de obicei format pe suprafața substratului de grafit prin tehnici precum depunerea fizică în vapori (PVD) sau depunerea chimică în vapori (CVD). Această acoperire are proprietăți excelente, cum ar fi duritate ridicată, rezistență excelentă la uzură, rezistență la coroziune și stabilitate la temperaturi ridicate.
Semicera oferă acoperiri specializate de carbură de tantal (TaC) pentru diferite componente și suporturi.Procesul de acoperire lider Semicera permite acoperirilor cu carbură de tantal (TaC) să atingă puritate ridicată, stabilitate la temperatură ridicată și toleranță chimică ridicată, îmbunătățind calitatea produsului cristalelor SIC/GAN și a straturilor EPI (Susceptor TaC acoperit cu grafit) și prelungirea duratei de viață a componentelor cheie ale reactorului. Utilizarea acoperirii cu carbură de tantal TaC este de a rezolva problema marginii și de a îmbunătăți calitatea creșterii cristalelor, iar Semicera a rezolvat tehnologia de acoperire cu carbură de tantal (CVD), atingând un nivel internațional avansat.
După ani de dezvoltare, Semicera a cucerit tehnologia deCVD TaCcu eforturile comune ale departamentului R&D. Defecte sunt ușor să apară în procesul de creștere a napolitanelor de SiC, dar după utilizareTaC, diferenta este semnificativa. Mai jos este o comparație a napolitanelor cu și fără TaC, precum și a pieselor Simicera pentru creșterea unui singur cristal.
Principalele avantaje ale foii de grafit acoperite cu carbură de tantal includ:
1. Rezistență la temperaturi ridicate: Carbura de tantal are un punct de topire ridicat și o stabilitate excelentă la temperatură ridicată, făcând placa de grafit acoperită potrivită pentru utilizare în medii cu temperaturi ridicate.
2. Rezistență la coroziune: Acoperirea cu carbură de tantal poate rezista la eroziunea multor substanțe chimice corozive și poate prelungi durata de viață a materialului.
3. Duritate ridicată: duritatea mare a stratului subțire de carbură de tantal oferă o bună rezistență la uzură și este potrivită pentru aplicații care necesită rezistență mare la uzură.
4. Stabilitate chimică: Acoperirea cu carbură de tantal are o stabilitate excelentă la coroziune chimică și este potrivită pentru utilizarea în unele medii corozive.
cu și fără TaC
După utilizarea TaC (dreapta)
Mai mult, a lui SemiceraProduse acoperite cu TaCprezintă o durată de viață mai lungă și o rezistență mai mare la temperatură înaltă în comparație cuAcoperiri SiC.Măsurătorile de laborator au demonstrat că noastreAcoperiri TaCpoate funcționa constant la temperaturi de până la 2300 de grade Celsius pentru perioade lungi. Mai jos sunt câteva exemple din mostrele noastre:
