Placă de grafit de acoperire cu carbură de tantal

Scurtă descriere:

Placa de grafit de acoperire cu carbură de tantal de la Semicera este proiectată pentru aplicații de înaltă performanță în epitaxia cu carbură de siliciu și creșterea cristalelor. Această placă oferă o stabilitate excepțională în medii cu temperatură înaltă, corozive și de înaltă presiune. Ideal pentru utilizare în reactoare avansate și structuri de cuptoare, îmbunătățește performanța și longevitatea sistemului. Semicera asigură calitate superioară și fiabilitate cu o tehnologie de ultimă oră de acoperire pentru nevoile inginerești exigente.

Trimiteți-ne un e-mail

Detaliu produs

Etichete de produs

Foaie de grafit acoperită cu carbură de tantaleste un material grafit cu un strat subțire decarbură de tantalpe suprafata substratului. Stratul subțire de carbură de tantal este de obicei format pe suprafața substratului de grafit prin tehnici precum depunerea fizică în vapori (PVD) sau depunerea chimică în vapori (CVD). Această acoperire are proprietăți excelente, cum ar fi duritate ridicată, rezistență excelentă la uzură, rezistență la coroziune și stabilitate la temperaturi ridicate.

Semicera oferă acoperiri specializate de carbură de tantal (TaC) pentru diferite componente și suporturi.Procesul de acoperire lider Semicera permite acoperirilor cu carbură de tantal (TaC) să atingă puritate ridicată, stabilitate la temperatură ridicată și toleranță chimică ridicată, îmbunătățind calitatea produsului cristalelor SIC/GAN și a straturilor EPI (Susceptor TaC acoperit cu grafit) și prelungirea duratei de viață a componentelor cheie ale reactorului. Utilizarea acoperirii cu carbură de tantal TaC este de a rezolva problema marginii și de a îmbunătăți calitatea creșterii cristalelor, iar Semicera a rezolvat tehnologia de acoperire cu carbură de tantal (CVD), atingând un nivel internațional avansat.

După ani de dezvoltare, Semicera a cucerit tehnologia deCVD TaCcu eforturile comune ale departamentului R&D. Defecte sunt ușor să apară în procesul de creștere a napolitanelor de SiC, dar după utilizareTaC, diferenta este semnificativa. Mai jos este o comparație a napolitanelor cu și fără TaC, precum și a pieselor Simicera pentru creșterea unui singur cristal.

Principalele avantaje ale foii de grafit acoperite cu carbură de tantal includ:

1. Rezistență la temperaturi ridicate: Carbura de tantal are un punct de topire ridicat și o stabilitate excelentă la temperatură ridicată, făcând placa de grafit acoperită potrivită pentru utilizare în medii cu temperaturi ridicate.

2. Rezistență la coroziune: Acoperirea cu carbură de tantal poate rezista la eroziunea multor substanțe chimice corozive și poate prelungi durata de viață a materialului.

3. Duritate ridicată: duritatea ridicată a stratului subțire de carbură de tantal oferă o bună rezistență la uzură și este potrivită pentru aplicații care necesită rezistență ridicată la uzură.

4. Stabilitate chimică: Acoperirea cu carbură de tantal are o stabilitate excelentă la coroziune chimică și este potrivită pentru utilizarea în unele medii corozive.

Acoperire cu carbură de tantal de înaltă eficiență_ îmbunătățește eficiența producției industriale și reduce costurile de întreținere Imagine prezentată

Partea tac pentru creșterea unui singur cristal

Acoperire cu carbură de tantal antiuzură_ Protejează echipamentul de uzură și coroziune Imagine prezentată

Grafit cu inel acoperit cu TaC

cu și fără TaC

După utilizarea TaC (dreapta)

Mai mult, a lui SemiceraProduse acoperite cu TaCprezintă o durată de viață mai lungă și o rezistență mai mare la temperatură înaltă în comparație cuAcoperiri SiC.Măsurătorile de laborator au demonstrat că noastreAcoperiri TaCpoate funcționa constant la temperaturi de până la 2300 de grade Celsius pentru perioade lungi. Mai jos sunt câteva exemple din mostrele noastre: