Semicera oferă acoperiri specializate de carbură de tantal (TaC) pentru diferite componente și suporturi.Procesul de acoperire lider Semicera permite acoperirilor cu carbură de tantal (TaC) să atingă puritate ridicată, stabilitate la temperatură ridicată și toleranță chimică ridicată, îmbunătățind calitatea produsului cristalelor SIC/GAN și a straturilor EPI (Susceptor TaC acoperit cu grafit) și prelungirea duratei de viață a componentelor cheie ale reactorului. Utilizarea acoperirii cu carbură de tantal TaC este de a rezolva problema marginii și de a îmbunătăți calitatea creșterii cristalelor, iar Semicera a rezolvat tehnologia de acoperire cu carbură de tantal (CVD), atingând un nivel internațional avansat.
Purtătorii de napolitană acoperiți cu carbură de tantal sunt utilizați pe scară largă în procesele de prelucrare și manipulare a plachetelor în procesele de fabricație a semiconductorilor. Ele oferă suport și protecție stabilă pentru a asigura siguranța, acuratețea și consistența napolitanelor în timpul procesului de fabricație. Acoperirile cu carbură de tantal pot prelungi durata de viață a suportului, pot reduce costurile și pot îmbunătăți calitatea și fiabilitatea produselor semiconductoare.
Descrierea suportului de napolitană acoperit cu carbură de tantal este următoarea:
1. Selecția materialului: Carbura de tantal este un material cu performanțe excelente, duritate ridicată, punct de topire ridicat, rezistență la coroziune și proprietăți mecanice excelente, deci este utilizat pe scară largă în procesul de fabricație a semiconductorilor.
2. Acoperire de suprafață: Acoperirea cu carbură de tantal este aplicată pe suprafața suportului de napolitană printr-un proces special de acoperire pentru a forma o acoperire uniformă și densă de carbură de tantal. Această acoperire poate oferi protecție suplimentară și rezistență la uzură, având în același timp o bună conductivitate termică.
3. Planeitate și precizie: suportul pentru napolitană acoperit cu carbură de tantal are un grad ridicat de planeitate și precizie, asigurând stabilitatea și acuratețea napolitanelor în timpul procesului de fabricație. Planeitatea și finisajul suprafeței suport sunt esențiale pentru a asigura calitatea și performanța napolitanei.
4. Stabilitate la temperatură: Purtătorii de napolitane acoperiți cu carbură de tantal pot menține stabilitatea în medii cu temperaturi ridicate fără deformare sau slăbire, asigurând stabilitatea și consistența napolitanelor în procesele la temperaturi înalte.
5. Rezistență la coroziune: Acoperirile cu carbură de tantal au o rezistență excelentă la coroziune, pot rezista la eroziunea substanțelor chimice și a solvenților și protejează purtătorul de coroziunea lichidă și gazoasă.
cu și fără TaC
După utilizarea TaC (dreapta)
Mai mult, a lui SemiceraProduse acoperite cu TaCprezintă o durată de viață mai lungă și o rezistență mai mare la temperatură înaltă în comparație cuAcoperiri SiC.Măsurătorile de laborator au demonstrat că noastreAcoperiri TaCpoate funcționa constant la temperaturi de până la 2300 de grade Celsius pentru perioade lungi. Mai jos sunt câteva exemple din mostrele noastre:
-
Placă planetară de acoperire cu carbură de tantal (TaC).
-
Carbură de tantal TaC acoperire CVD Piese personalizate
-
Încălzitor MOCVD din carbură de tantal
-
Capace acoperite cu carbură de tantal
-
Placă de susținere a piedestalului de acoperire cu carbură de tantal
-
Carbură de tantal TaC CVD Coating Wafer Susceptor