Acoperire TaCeste un material de acoperire important, care este de obicei preparat pe o bază de grafit prin tehnologia de depunere în vapori chimici organici metal (MOCVD). Această acoperire are proprietăți excelente, cum ar fi duritate ridicată, rezistență excelentă la uzură, rezistență la temperatură ridicată și stabilitate chimică și este potrivită pentru diverse aplicații de inginerie la cerere mare.
Tehnologia MOCVD este o tehnologie de creștere a filmului subțire utilizat în mod obișnuit, care depune filmul compus dorit pe suprafața substratului prin reacția precursorilor organici metalici cu gaze reactive la temperaturi ridicate. La pregătireAcoperire TaC, selectând precursori metalici organici adecvați și surse de carbon, controlând condițiile de reacție și parametrii de depunere, un film de TaC uniform și dens poate fi depus pe o bază de grafit.
Semicera oferă acoperiri specializate de carbură de tantal (TaC) pentru diferite componente și suporturi.Procesul de acoperire lider Semicera permite acoperirilor cu carbură de tantal (TaC) să atingă puritate ridicată, stabilitate la temperatură ridicată și toleranță chimică ridicată, îmbunătățind calitatea produsului cristalelor SIC/GAN și a straturilor EPI (Susceptor TaC acoperit cu grafit) și prelungirea duratei de viață a componentelor cheie ale reactorului. Utilizarea acoperirii cu carbură de tantal TaC este de a rezolva problema marginii și de a îmbunătăți calitatea creșterii cristalelor, iar Semicera a rezolvat tehnologia de acoperire cu carbură de tantal (CVD), atingând un nivel internațional avansat.
După ani de dezvoltare, Semicera a cucerit tehnologia deCVD TaCcu eforturile comune ale departamentului R&D. Defecte sunt ușor să apară în procesul de creștere a napolitanelor de SiC, dar după utilizareTaC, diferenta este semnificativa. Mai jos este o comparație a napolitanelor cu și fără TaC, precum și a pieselor Simicera pentru creșterea unui singur cristal.
cu și fără TaC
După utilizarea TaC (dreapta)
Mai mult, a lui SemiceraProduse acoperite cu TaCprezintă o durată de viață mai lungă și o rezistență mai mare la temperatură înaltă în comparație cuAcoperiri SiC.Măsurătorile de laborator au demonstrat că noastreAcoperiri TaCpoate funcționa constant la temperaturi de până la 2300 de grade Celsius pentru perioade lungi. Mai jos sunt câteva exemple din mostrele noastre:
-
Inel acoperit cu carbură de tantal (TaC).
-
Semilună superioară acoperită cu carbură de tantal CVD
-
Soluție de carbură de tantal
-
Inel de ghidare a acoperirii CVD din carbură de tantal
-
Placă de susținere a piedestalului de acoperire cu carbură de tantal
-
Inel de grafit acoperit cu carbură de tantal (TaC).