Susceptor acoperit cu carbură de tantal (TaC) pentru echipamente de epitaxie

Susceptor acoperit cu carbură de tantal (TaC) pentru echipamentele de epitaxie Imagine prezentată

Scurtă descriere:

Grafitul este un material excelent la temperaturi ridicate, dar se oxidează ușor la temperaturi ridicate. Chiar și în cuptoarele cu vid cu gaz inert, poate suferi o oxidare lentă. Folosirea unui strat de carbură de tantal CVD (TaC) poate proteja eficient substratul de grafit, oferind aceeași rezistență la temperatură ridicată ca și grafitul. TaC este, de asemenea, un material inert, ceea ce înseamnă că nu va reacționa cu gaze precum argonul sau hidrogenul la temperaturi ridicate.Întrebare Susceptor acoperit cu carbură de tantal (TaC) pentru echipamentul de epitaxie acum!

Trimiteți-ne un e-mail

Detaliu produs

Etichete de produs

Semicera oferă acoperiri specializate de carbură de tantal (TaC) pentru diferite componente și suporturi.Procesul de acoperire lider Semicera permite acoperirilor cu carbură de tantal (TaC) să atingă puritate ridicată, stabilitate la temperatură ridicată și toleranță chimică ridicată, îmbunătățind calitatea produsului cristalelor SIC/GAN și a straturilor EPI (Susceptor TaC acoperit cu grafit) și prelungirea duratei de viață a componentelor cheie ale reactorului. Utilizarea acoperirii cu carbură de tantal TaC este de a rezolva problema marginii și de a îmbunătăți calitatea creșterii cristalelor, iar Semicera a rezolvat tehnologia de acoperire cu carbură de tantal (CVD), atingând un nivel internațional avansat.

După ani de dezvoltare, Semicera a cucerit tehnologia deCVD TaCcu eforturile comune ale departamentului R&D. Defecte sunt ușor să apară în procesul de creștere a napolitanelor de SiC, dar după utilizareTaC, diferenta este semnificativa. Mai jos este o comparație a napolitanelor cu și fără TaC, precum și a pieselor Simicera pentru creșterea unui singur cristal.

Acoperire cu carbură de tantal de înaltă eficiență_ îmbunătățește eficiența producției industriale și reduce costurile de întreținere Imagine prezentată

Partea tac pentru creșterea unui singur cristal

Acoperire cu carbură de tantal antiuzură_ Protejează echipamentul de uzură și coroziune Imagine prezentată

Grafit cu inel acoperit cu TaC

cu și fără TaC

După utilizarea TaC (dreapta)

Mai mult, a lui SemiceraProduse acoperite cu TaCprezintă o durată de viață mai lungă și o rezistență mai mare la temperatură înaltă în comparație cuAcoperiri SiC.Măsurătorile de laborator au demonstrat că noastreAcoperiri TaCpoate funcționa constant la temperaturi de până la 2300 de grade Celsius pentru perioade lungi. Mai jos sunt câteva exemple din mostrele noastre: