Inele de ghidare din grafit acoperite cu TaCse referă la depunerea unui strat subțire decarbură de tantalpe suprafața unui inel de ghidare din grafit pentru a-și îmbunătăți rezistența la uzură, rezistența la temperaturi ridicate și stabilitatea chimică. Această acoperire se formează de obicei pe suprafața unui inel de ghidare din grafit prin tehnici precum depunerea fizică în vapori (PVD) sau depunerea chimică în vapori (CVD).
Semicera oferă acoperiri specializate de carbură de tantal (TaC) pentru diferite componente și suporturi.Procesul de acoperire lider Semicera permite acoperirilor cu carbură de tantal (TaC) să atingă puritate ridicată, stabilitate la temperatură ridicată și toleranță chimică ridicată, îmbunătățind calitatea produsului cristalelor SIC/GAN și a straturilor EPI (Susceptor TaC acoperit cu grafit) și prelungirea duratei de viață a componentelor cheie ale reactorului. Utilizarea acoperirii cu carbură de tantal TaC este de a rezolva problema marginii și de a îmbunătăți calitatea creșterii cristalelor, iar Semicera a rezolvat tehnologia de acoperire cu carbură de tantal (CVD), atingând un nivel internațional avansat.
După ani de dezvoltare, Semicera a cucerit tehnologia deCVD TaCcu eforturile comune ale departamentului R&D. Defecte sunt ușor să apară în procesul de creștere a napolitanelor de SiC, dar după utilizareTaC, diferenta este semnificativa. Mai jos este o comparație a napolitanelor cu și fără TaC, precum și a pieselor Simicera pentru creșterea unui singur cristal.
Principalele caracteristici ale inelelor de ghidare din grafit acoperite cu TaC includ:
1. Rezistență la temperaturi ridicate: acoperirea TaC are o stabilitate excelentă la temperaturi ridicate și poate menține stabilitatea în medii cu temperaturi ridicate.
2. Rezistență la uzură: duritatea ridicată a stratului subțire de carbură de tantal conferă inelului de ghidare o bună rezistență la uzură și îi prelungește durata de viață.
3. Stabilitate chimică: Acoperirea TaC are o stabilitate ridicată împotriva coroziunii chimice, făcându-l potrivit pentru aplicații în unele medii corozive.
4. Reduceți frecarea: acoperirea TaC poate reduce în mod eficient frecarea dintre inelul de ghidare din grafit și alte componente și poate îmbunătăți eficiența etanșărilor mecanice.
cu și fără TaC
După utilizarea TaC (dreapta)
Mai mult, a lui SemiceraProduse acoperite cu TaCprezintă o durată de viață mai lungă și o rezistență mai mare la temperatură înaltă în comparație cuAcoperiri SiC.Măsurătorile de laborator au demonstrat că noastreAcoperiri TaCpoate funcționa constant la temperaturi de până la 2300 de grade Celsius pentru perioade lungi. Mai jos sunt câteva exemple din mostrele noastre:
