Suporturi de plachete epitaxiale acoperite cu TaCsunt utilizate de obicei la prepararea dispozitivelor optoelectronice de înaltă performanță, dispozitivelor de putere, senzorilor și în alte domenii. Acestpurtător de napolitană epitaxialăse referă la depunerea deTaCfilm subțire pe substrat în timpul procesului de creștere a cristalului pentru a forma o napolitană cu structură și performanță specifice pentru pregătirea ulterioară a dispozitivului.
Tehnologia depunerii chimice în vapori (CVD) este de obicei utilizată pentru preparareSuporturi de plachete epitaxiale acoperite cu TaC. Prin reacția precursorilor organici metalici și a gazelor surse de carbon la temperatură ridicată, un film de TaC poate fi depus pe suprafața substratului de cristal. Acest film poate avea proprietăți electrice, optice și mecanice excelente și este potrivit pentru pregătirea diferitelor dispozitive de înaltă performanță.
Semicera oferă acoperiri specializate de carbură de tantal (TaC) pentru diferite componente și suporturi.Procesul de acoperire lider Semicera permite acoperirilor cu carbură de tantal (TaC) să atingă puritate ridicată, stabilitate la temperatură ridicată și toleranță chimică ridicată, îmbunătățind calitatea produsului cristalelor SIC/GAN și a straturilor EPI (Susceptor TaC acoperit cu grafit) și prelungirea duratei de viață a componentelor cheie ale reactorului. Utilizarea acoperirii cu carbură de tantal TaC este de a rezolva problema marginii și de a îmbunătăți calitatea creșterii cristalelor, iar Semicera a rezolvat tehnologia de acoperire cu carbură de tantal (CVD), atingând un nivel internațional avansat.
După ani de dezvoltare, Semicera a cucerit tehnologia deCVD TaCcu eforturile comune ale departamentului R&D. Defecte sunt ușor să apară în procesul de creștere a napolitanelor de SiC, dar după utilizareTaC, diferenta este semnificativa. Mai jos este o comparație a napolitanelor cu și fără TaC, precum și a pieselor Simicera pentru creșterea unui singur cristal.
cu și fără TaC
După utilizarea TaC (dreapta)
Mai mult, a lui SemiceraProduse acoperite cu TaCprezintă o durată de viață mai lungă și o rezistență mai mare la temperatură înaltă în comparație cuAcoperiri SiC.Măsurătorile de laborator au demonstrat că noastreAcoperiri TaCpoate funcționa constant la temperaturi de până la 2300 de grade Celsius pentru perioade lungi. Mai jos sunt câteva exemple din mostrele noastre:
