Siliciu pe plăci izolatoare

Scurtă descriere:

Wafer-urile Silicon-on-Insulator de la Semicera oferă soluții de înaltă performanță pentru aplicații avansate de semiconductor. Potrivite în mod ideal pentru MEMS, senzori și microelectronice, aceste plachete oferă o izolare electrică excelentă și o capacitate parazită scăzută. Semicera asigură o producție de precizie, oferind o calitate constantă pentru o gamă de tehnologii inovatoare. Așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.


Detaliu produs

Etichete de produs

Siliciu pe plăci izolatoarede la Semicera sunt concepute pentru a satisface cererea tot mai mare de soluții de semiconductori de înaltă performanță. Napolitanele noastre SOI oferă performanțe electrice superioare și capacitate redusă a dispozitivului parazit, făcându-le ideale pentru aplicații avansate, cum ar fi dispozitive MEMS, senzori și circuite integrate. Expertiza Semicera în producția de napolitane asigură că fiecareNapolitana SOIoferă rezultate fiabile și de înaltă calitate pentru nevoile dvs. de tehnologie de ultimă generație.

NoastreSiliciu pe plăci izolatoareoferă un echilibru optim între rentabilitate și performanță. În condițiile în care costul napolitanelor de soi devine din ce în ce mai competitiv, aceste napolitane sunt utilizate pe scară largă într-o serie de industrii, inclusiv microelectronica și optoelectronica. Procesul de producție de înaltă precizie al Semicera garantează lipirea și uniformitatea superioară a plachetelor, făcându-le potrivite pentru o varietate de aplicații, de la plachete SOI cu cavitate până la plachete standard de siliciu.

Caracteristici cheie:

Wafer-uri SOI de înaltă calitate optimizate pentru performanță în MEMS și alte aplicații.

Cost competitiv al napolitanelor de soi pentru companiile care caută soluții avansate fără a compromite calitatea.

Ideal pentru tehnologii de ultimă oră, oferind izolare electrică și eficiență sporită în siliciu pe sistemele izolatoare.

NoastreSiliciu pe plăci izolatoaresunt concepute pentru a oferi soluții de înaltă performanță, susținând următorul val de inovații în tehnologia semiconductoarelor. Fie că lucrezi la cavitateNapolitane SOI, dispozitive MEMS sau siliciu pe componente izolatoare, Semicera furnizează napolitane care îndeplinesc cele mai înalte standarde din industrie.

Articole

Productie

Cercetare

Manichin

Parametrii cristalului

Politip

4H

Eroare de orientare la suprafață

<11-20 >4±0,15°

Parametrii electrici

Dopant

azot de tip n

Rezistivitate

0,015-0,025 ohm·cm

Parametri mecanici

Diametru

150,0±0,2mm

Grosime

350±25 μm

Orientare plată primară

[1-100]±5°

Lungime plată primară

47,5±1,5mm

Apartament secundar

Nici unul

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Arc

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Urzeală

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Rugozitate frontală (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Structura

Densitatea microconductelor

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Impurități metalice

≤5E10atomi/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Calitate față

Faţă

Si

Finisaj de suprafață

Si-face CMP

Particule

≤60ea/napolitana (dimensiune≥0,3μm)

NA

Zgârieturi

≤5ea/mm. Lungime cumulativă ≤Diametru

Lungime cumulativă≤2*Diametru

NA

Coaja de portocală/sâmburi/pete/striații/crăpături/contaminare

Nici unul

NA

Așchii de margine/indentări/fractură/plăci hexagonale

Nici unul

Zone politip

Nici unul

Suprafata cumulata≤20%

Suprafata cumulata≤30%

Marcaj frontal cu laser

Nici unul

Calitate din spate

Finisaj spate

C-face CMP

Zgârieturi

≤5ea/mm, lungime cumulativă≤2*Diametru

NA

Defecte din spate (așchii de margini/indentări)

Nici unul

Rugozitatea spatelui

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Marcare cu laser pe spate

1 mm (de la marginea de sus)

Margine

Margine

Teşit

Ambalare

Ambalare

Epi-gata cu ambalare în vid

Ambalare casete multi-plachete

*Note: „NA” înseamnă nicio solicitare. Articolele nemenționate se pot referi la SEMI-STD.

tech_1_2_size
Napolitane SiC

  • Anterior:
  • Următorul: