Substraturi din carbură de siliciu|Napolitane SiC

Scurtă descriere:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. este un furnizor de frunte specializat în consumabile pentru napolitane și semiconductoare avansate. Suntem dedicați furnizării de produse de înaltă calitate, fiabile și inovatoare pentru producția de semiconductori, industria fotovoltaică și alte domenii conexe.

Linia noastră de produse include produse din grafit acoperite cu SiC/TaC și produse ceramice, cuprinzând diverse materiale, cum ar fi carbură de siliciu, nitrură de siliciu și oxid de aluminiu etc.

În prezent, suntem singurul producător care oferă puritate 99,9999% SiC și 99,9% carbură de siliciu recristalizată. Lungimea maximă a stratului de SiC pe care o putem face 2640 mm.

Trimiteți-ne un e-mail

Detaliu produs

Etichete de produs

Materialul monocristal de carbură de siliciu (SiC) are o lățime mare de bandă interzisă (~Si de 3 ori), conductivitate termică ridicată (~Si de 3,3 ori sau GaAs de 10 ori), rată mare de migrare a saturației electronilor (~Si de 2,5 ori), electricitate mare de defalcare câmp (~Si de 10 ori sau GaAs de 5 ori) și alte caracteristici remarcabile.

Dispozitivele SiC au avantaje de neînlocuit în domeniul dispozitivelor electronice cu temperatură ridicată, presiune înaltă, frecvență înaltă, putere mare și aplicații extreme de mediu, cum ar fi energia aerospațială, militară, nucleară etc., compensează defectele dispozitivelor tradiționale cu materiale semiconductoare în practică. aplicații și devin treptat curentul principal al semiconductorilor de putere.

Specificații substratului cu carbură de siliciu 4H-SiC

Item项目	Specificații参数
Politip 晶型	4H-SiC	6H- SiC
Diametru 晶圆直径	2 inch \| 3 inci \| 4 inch \| 6 inch	2 inch \| 3 inci \| 4 inch \| 6 inch
Grosime 厚度	330 μm ~ 350 μm	330 μm ~ 350 μm
Conductivitate 导电类型	N – tip / Semiizolant N型导电片/ 半绝缘片	N – tip / Semiizolant N型导电片/ 半绝缘片
Dopant 掺杂剂	N2 ( azot ) V ( vanadiu )	N2 (azot) V (vanadiu)
Orientare 晶向	Pe axa <0001> În afara axei <0001> off 4°	Pe axa <0001> În afara axei <0001> off 4°
Rezistivitate 电阻率	0,015 ~ 0,03 ohm-cm (4H-N)	0,02 ~ 0,1 ohm-cm (6H-N)
Densitatea microconductelor (MPD) 微管密度	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm	≤ 15 μm
Arc / Urzeală 翘曲度	≤25 μm	≤25 μm
Suprafaţă 表面处理	DSP/SSP	DSP/SSP
Nota 产品等级	Grad producție/cercetare	Grad producție/cercetare
Secvența de stivuire a cristalelor 堆积方式	ABCB	ABCABC
Parametrul rețelei 晶格参数	a=3,076A, c=10,053A	a=3,073A, c=15,117A
De exemplu/eV(Band-gap) 禁带宽度	3,27 eV	3,02 eV
ε (constantă dielectrică) 介电常数	9.6	9,66
Indicele de refracție 折射率	n0 =2,719 ne =2,777	n0 =2,707, ne =2,755

Specificații substratului de carbură de siliciu 6H-SiC

Item项目	Specificații参数
Politip 晶型	6H-SiC
Diametru 晶圆直径	4 inch \| 6 inch
Grosime 厚度	350μm ~ 450μm
Conductivitate 导电类型	N – tip / Semiizolant N型导电片/ 半绝缘片
Dopant 掺杂剂	N2 (azot) V (vanadiu)
Orientare 晶向	<0001> oprit 4°± 0,5°
Rezistivitate 电阻率	0,02 ~ 0,1 ohm-cm (Tipul 6H-N)
Densitatea microconductelor (MPD) 微管密度	≤ 10/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm
Arc / Urzeală 翘曲度	≤25 μm
Suprafaţă 表面处理	Si Face: CMP, Epi-Ready C Față: Polish optic
Nota 产品等级	Nota de cercetare