Încălzitor din grafit acoperit cu SiC pentru MOCVD K465i, încălzitor epitaxial din grafit pentru echipamente semiconductoare

Scurtă descriere:

Energia semiceruluiTechnology Co., Ltd.este un furnizor lider specializat în wafer și consumabile avansate de semiconductor.Suntem dedicați furnizării de produse de înaltă calitate, fiabile și inovatoare pentru fabricarea semiconductoarelor,industria fotovoltaicași alte domenii conexe.

Linia noastră de produse include produse din grafit acoperite cu SiC/TaC și produse ceramice, cuprinzând diverse materiale, cum ar fi carbură de siliciu, nitrură de siliciu și oxid de aluminiu etc.

În calitate de furnizor de încredere, înțelegem importanța consumabilelor în procesul de fabricație și ne angajăm să furnizăm produse care îndeplinesc cele mai înalte standarde de calitate pentru a satisface nevoile clienților noștri.


Detaliu produs

Etichete de produs

Principalele caracteristici ale încălzitorului din grafit:

1. uniformitatea structurii de încălzire.

2. conductivitate electrică bună și sarcină electrică ridicată.

3. rezistenta la coroziune.

4. inoxidabilitate.

5. puritate chimică ridicată.

6. rezistenţă mecanică ridicată.

Avantajul este eficient energetic, valoare ridicată și întreținere redusă. Putem produce creuzete din grafit antioxidare și durată lungă de viață, matrițe din grafit și toate părțile încălzitorului din grafit.

Încălzitor din grafit (1)(1)

Parametrii principali ai încălzitorului din grafit

Specificatii tehnice

VET-M3

Densitate în vrac (g/cm3)

≥1,85

Conținut de cenușă (PPM)

≤500

Duritate Shore

≥45

Rezistență specifică (μ.Ω.m)

≤12

Rezistența la încovoiere (Mpa)

≥40

Rezistența la compresiune (Mpa)

≥70

Max. Dimensiunea granulației (μm)

≤43

Coeficientul de dilatare termică Mm/°C

≤4,4*10-6

Semicera Locul de munca
Locul de muncă semicer 2
Mașină de echipare
Procesare CNN, curățare chimică, acoperire CVD
Depozitul Semicera
Serviciul nostru

  • Anterior:
  • Următorul: