SemicerăintroduceCaseta semiconductoare, un instrument esențial pentru manipularea sigură și eficientă a plachetelor pe tot parcursul procesului de fabricație a semiconductorilor. Proiectată cu mare precizie, această casetă asigură depozitarea și transportul în siguranță a napolitanelor, menținându-și integritatea în fiecare etapă.
Protecție și durabilitate superioareTheCaseta semiconductoarede la Semicera este construit pentru a oferi protecție maximă napolitanelor dumneavoastră. Construit din materiale robuste, rezistente la contaminare, vă protejează napolitanele de eventuale daune și contaminare, făcându-l o alegere ideală pentru mediile cu camere curate. Designul casetei minimizează generarea de particule și asigură că plachetele rămân neatinse și sigure în timpul manipulării și transportului.
Design îmbunătățit pentru performanță optimăa lui SemiceraCaseta semiconductoareprezintă un design meticulos proiectat care asigură o aliniere precisă a plachetelor, reducând riscul de dezaliniere și deteriorări mecanice. Fantele casetei sunt perfect distanțate pentru a ține fiecare wafer în siguranță, prevenind orice mișcare care ar putea duce la zgârieturi sau alte imperfecțiuni.
Versatilitate și compatibilitateTheCaseta semiconductoareeste versatil și compatibil cu diferite dimensiuni de plachetă, făcându-l potrivit pentru diferite etape de fabricație a semiconductorilor. Indiferent dacă lucrați cu dimensiuni standard sau personalizate, această casetă se adaptează nevoilor dumneavoastră, oferind flexibilitate în procesele dumneavoastră de producție.
Manipulare simplificată și eficiențăProiectat având în vedere utilizatorul,Caseta semiconductoare Semiceraeste ușor și ușor de manevrat, permițând încărcarea și descărcarea rapidă și eficientă. Acest design ergonomic nu numai că economisește timp, dar reduce și riscul de eroare umană, asigurând operațiuni fără probleme în cadrul unității dumneavoastră.
Îndeplinirea standardelor din industrieSemicera asigură căCaseta semiconductoareîndeplinește cele mai înalte standarde din industrie pentru calitate și fiabilitate. Fiecare casetă este supusă unor teste riguroase pentru a garanta că funcționează constant în condițiile exigente ale producției de semiconductori. Această dedicare față de calitate asigură că napolitanele dumneavoastră sunt întotdeauna protejate, menținând standardele înalte cerute în industrie.
Articole | Productie | Cercetare | Manichin |
Parametrii cristalului | |||
Politip | 4H | ||
Eroare de orientare la suprafață | <11-20 >4±0,15° | ||
Parametrii electrici | |||
Dopant | azot de tip n | ||
Rezistivitate | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Parametri mecanici | |||
Diametru | 150,0±0,2mm | ||
Grosime | 350±25 μm | ||
Orientare plată primară | [1-100]±5° | ||
Lungime plată primară | 47,5±1,5mm | ||
Apartament secundar | Nici unul | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Arc | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Urzeală | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Rugozitate frontală (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Structura | |||
Densitatea microconductelor | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Impurități metalice | ≤5E10atomi/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Calitate față | |||
Faţă | Si | ||
Finisaj de suprafață | Si-face CMP | ||
Particule | ≤60ea/napolitana (dimensiune≥0,3μm) | NA | |
Zgârieturi | ≤5ea/mm. Lungime cumulativă ≤Diametru | Lungime cumulativă≤2*Diametru | NA |
Coaja de portocală/sâmburi/pete/striații/crăpături/contaminare | Nici unul | NA | |
Așchii de margine/indentări/fractură/plăci hexagonale | Nici unul | ||
Zone politip | Nici unul | Suprafata cumulata≤20% | Suprafata cumulata≤30% |
Marcaj frontal cu laser | Nici unul | ||
Calitate din spate | |||
Finisaj spate | C-face CMP | ||
Zgârieturi | ≤5ea/mm, lungime cumulativă≤2*Diametru | NA | |
Defecte din spate (așchii de margini/indentări) | Nici unul | ||
Rugozitatea spatelui | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Marcare cu laser pe spate | 1 mm (de la marginea de sus) | ||
Margine | |||
Margine | Teşit | ||
Ambalare | |||
Ambalare | Epi-gata cu ambalare în vid Ambalare casete multi-plachete | ||
*Note: „NA” înseamnă nicio solicitare. Articolele nemenționate se pot referi la SEMI-STD. |