Semicerăeste încântat să ofereCaseta PFA, o alegere premium pentru manipularea napolitanelor în medii în care rezistența chimică și durabilitatea sunt primordiale. Fabricată din material perfluoroalcoxi (PFA) de înaltă puritate, această casetă este proiectată să reziste la cele mai solicitante condiții în fabricarea semiconductoarelor, asigurând siguranța și integritatea plachetelor dumneavoastră.
Rezistență chimică de neegalatTheCaseta PFAeste conceput pentru a oferi o rezistență superioară la o gamă largă de substanțe chimice, făcându-l alegerea perfectă pentru procesele care implică acizi agresivi, solvenți și alte substanțe chimice dure. Această rezistență chimică robustă asigură că caseta rămâne intactă și funcțională chiar și în mediile cele mai corozive, prelungind astfel durata de viață și reducând nevoia de înlocuiri frecvente.
Construcție de înaltă puritatea lui SemiceraCaseta PFAeste fabricat din material PFA ultra-pur, care este esențial în prevenirea contaminării în timpul procesării napolitanelor. Această construcție de înaltă puritate minimizează riscul de generare de particule și de leșiere chimică, asigurând că napolitanele sunt protejate de impuritățile care le-ar putea compromite calitatea.
Durabilitate și performanță îmbunătățiteProiectat pentru durabilitate,Caseta PFAîși menține integritatea structurală la temperaturi extreme și condiții riguroase de procesare. Indiferent dacă este expusă la temperaturi ridicate sau este supusă manipulării repetate, această casetă își păstrează forma și performanța, oferind fiabilitate pe termen lung în medii de producție solicitante.
Inginerie de precizie pentru manipulare sigurăTheCaseta Semicera PFAprezintă o inginerie precisă care asigură o manipulare sigură și stabilă a plachetelor. Fiecare fantă este proiectată cu atenție pentru a ține napolitanele în siguranță, prevenind orice mișcare sau deplasare care ar putea duce la deteriorare. Această inginerie de precizie sprijină plasarea consistentă și precisă a plachetelor, contribuind la eficiența generală a procesului.
Aplicație versatilă în toate proceseleDatorită proprietăților sale materiale superioare,Caseta PFAeste suficient de versatil pentru a fi utilizat în diferite etape de fabricație a semiconductorilor. Este deosebit de potrivit pentru gravarea umedă, depunerea chimică în vapori (CVD) și alte procese care implică medii chimice dure. Adaptabilitatea sa îl face un instrument esențial în menținerea integrității procesului și a calității napolitanelor.
Angajamentul față de calitate și inovațieLa Semicera, ne angajăm să oferim produse care îndeplinesc cele mai înalte standarde din industrie. TheCaseta PFAexemplifică acest angajament, oferind o soluție fiabilă care se integrează perfect în procesele dumneavoastră de producție. Fiecare casetă este supusă unui control strict de calitate pentru a ne asigura că îndeplinește criteriile noastre riguroase de performanță, oferind excelența pe care o așteptați de la Semicera.
Articole | Productie | Cercetare | Manichin |
Parametrii cristalului | |||
Politip | 4H | ||
Eroare de orientare la suprafață | <11-20 >4±0,15° | ||
Parametrii electrici | |||
Dopant | azot de tip n | ||
Rezistivitate | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Parametri mecanici | |||
Diametru | 150,0±0,2mm | ||
Grosime | 350±25 μm | ||
Orientare plată primară | [1-100]±5° | ||
Lungime plată primară | 47,5±1,5mm | ||
Apartament secundar | Nici unul | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Arc | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Urzeală | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Rugozitate frontală (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Structura | |||
Densitatea microconductelor | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Impurități metalice | ≤5E10atomi/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Calitate față | |||
Faţă | Si | ||
Finisaj de suprafață | Si-face CMP | ||
Particule | ≤60ea/napolitana (dimensiune≥0,3μm) | NA | |
Zgârieturi | ≤5ea/mm. Lungime cumulativă ≤Diametru | Lungime cumulativă≤2*Diametru | NA |
Coaja de portocală/sâmburi/pete/striații/crăpături/contaminare | Nici unul | NA | |
Așchii de margine/indentări/fractură/plăci hexagonale | Nici unul | ||
Zone politip | Nici unul | Suprafata cumulata≤20% | Suprafata cumulata≤30% |
Marcaj frontal cu laser | Nici unul | ||
Calitate din spate | |||
Finisaj spate | C-face CMP | ||
Zgârieturi | ≤5ea/mm, lungime cumulativă≤2*Diametru | NA | |
Defecte din spate (așchii de margini/indentări) | Nici unul | ||
Rugozitatea spatelui | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Marcare cu laser pe spate | 1 mm (de la marginea de sus) | ||
Margine | |||
Margine | Teşit | ||
Ambalare | |||
Ambalare | Epi-gata cu ambalare în vid Ambalare casete multi-plachete | ||
*Note: „NA” înseamnă nicio solicitare. Articolele nemenționate se pot referi la SEMI-STD. |