Caseta PFA

Scurtă descriere:

Caseta PFA– Experimentați rezistență chimică și durabilitate de neegalat cu caseta PFA de la Semicera, soluția ideală pentru manipularea sigură și eficientă a plachetelor în fabricarea semiconductoarelor.


Detaliu produs

Etichete de produs

Semicerăeste încântat să ofereCaseta PFA, o alegere premium pentru manipularea napolitanelor în medii în care rezistența chimică și durabilitatea sunt primordiale. Fabricată din material perfluoroalcoxi (PFA) de înaltă puritate, această casetă este proiectată să reziste la cele mai solicitante condiții în fabricarea semiconductoarelor, asigurând siguranța și integritatea plachetelor dumneavoastră.

Rezistență chimică de neegalatTheCaseta PFAeste conceput pentru a oferi o rezistență superioară la o gamă largă de substanțe chimice, făcându-l alegerea perfectă pentru procesele care implică acizi agresivi, solvenți și alte substanțe chimice dure. Această rezistență chimică robustă asigură că caseta rămâne intactă și funcțională chiar și în mediile cele mai corozive, prelungind astfel durata de viață și reducând nevoia de înlocuiri frecvente.

Construcție de înaltă puritatea lui SemiceraCaseta PFAeste fabricat din material PFA ultra-pur, care este esențial în prevenirea contaminării în timpul procesării napolitanelor. Această construcție de înaltă puritate minimizează riscul de generare de particule și de leșiere chimică, asigurând că napolitanele sunt protejate de impuritățile care le-ar putea compromite calitatea.

Durabilitate și performanță îmbunătățiteProiectat pentru durabilitate,Caseta PFAîși menține integritatea structurală la temperaturi extreme și condiții riguroase de procesare. Indiferent dacă este expusă la temperaturi ridicate sau este supusă manipulării repetate, această casetă își păstrează forma și performanța, oferind fiabilitate pe termen lung în medii de producție solicitante.

Inginerie de precizie pentru manipulare sigurăTheCaseta Semicera PFAprezintă o inginerie precisă care asigură o manipulare sigură și stabilă a plachetelor. Fiecare fantă este proiectată cu atenție pentru a ține napolitanele în siguranță, prevenind orice mișcare sau deplasare care ar putea duce la deteriorare. Această inginerie de precizie sprijină plasarea consistentă și precisă a plachetelor, contribuind la eficiența generală a procesului.

Aplicație versatilă în toate proceseleDatorită proprietăților sale materiale superioare,Caseta PFAeste suficient de versatil pentru a fi utilizat în diferite etape de fabricație a semiconductorilor. Este deosebit de potrivit pentru gravarea umedă, depunerea chimică în vapori (CVD) și alte procese care implică medii chimice dure. Adaptabilitatea sa îl face un instrument esențial în menținerea integrității procesului și a calității napolitanelor.

Angajamentul față de calitate și inovațieLa Semicera, ne angajăm să oferim produse care îndeplinesc cele mai înalte standarde din industrie. TheCaseta PFAexemplifică acest angajament, oferind o soluție fiabilă care se integrează perfect în procesele dumneavoastră de producție. Fiecare casetă este supusă unui control strict de calitate pentru a ne asigura că îndeplinește criteriile noastre riguroase de performanță, oferind excelența pe care o așteptați de la Semicera.

Articole

Productie

Cercetare

Manichin

Parametrii cristalului

Politip

4H

Eroare de orientare la suprafață

<11-20 >4±0,15°

Parametrii electrici

Dopant

azot de tip n

Rezistivitate

0,015-0,025 ohm·cm

Parametri mecanici

Diametru

150,0±0,2mm

Grosime

350±25 μm

Orientare plată primară

[1-100]±5°

Lungime plată primară

47,5±1,5mm

Apartament secundar

Nici unul

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Arc

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Urzeală

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Rugozitate frontală (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Structura

Densitatea microconductelor

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Impurități metalice

≤5E10atomi/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Calitate față

Faţă

Si

Finisaj de suprafață

Si-face CMP

Particule

≤60ea/napolitana (dimensiune≥0,3μm)

NA

Zgârieturi

≤5ea/mm. Lungime cumulativă ≤Diametru

Lungime cumulativă≤2*Diametru

NA

Coaja de portocală/sâmburi/pete/striații/crăpături/contaminare

Nici unul

NA

Așchii de margine/indentări/fractură/plăci hexagonale

Nici unul

Zone politip

Nici unul

Suprafata cumulata≤20%

Suprafata cumulata≤30%

Marcaj frontal cu laser

Nici unul

Calitate din spate

Finisaj spate

C-face CMP

Zgârieturi

≤5ea/mm, lungime cumulativă≤2*Diametru

NA

Defecte din spate (așchii de margini/indentări)

Nici unul

Rugozitatea spatelui

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Marcare cu laser pe spate

1 mm (de la marginea de sus)

Margine

Margine

Teşitură

Ambalare

Ambalare

Epi-gata cu ambalare în vid

Ambalare casete multi-plachete

*Note: „NA” înseamnă nicio solicitare. Articolele nemenționate se pot referi la SEMI-STD.

tech_1_2_size
Napolitane SiC

  • Anterior:
  • Următorul: