TheMOCVDmetoda este unul dintre cele mai stabile procese utilizate în prezent în industrie pentru a crește pelicule subțiri monocristaline de înaltă calitate, cum ar fi epistraturi InGaN monofazice, materiale III-N și pelicule semiconductoare cu structuri cu puțuri cuantice multiple și are o mare importanță în fabricarea de dispozitive semiconductoare și optoelectronice.
TheAcoperire cu SiC susceptor MOCVDeste un suport specializat pentru napolitană acoperit cu carbură de siliciu (SiC) ptepitaxiale creșterea în procesul de depunere de vapori chimici organici metal (MOCVD).
Acoperirea SiC are o rezistență chimică excelentă și o stabilitate termică, făcându-l o alegere ideală pentru susceptorii MOCVD utilizați în procesele de creștere epitaxiale solicitante.
O componentă cheie a procesului MOCVD este susceptorul, care este un element cheie pentru a asigura uniformitatea și calitatea filmelor subțiri produse.
Ce este un susceptor? Susceptorul este o componentă specializată utilizată în procesul MOCVD pentru a susține și a încălzi substratul pe care se depune pelicula subțire. Are multiple funcții, inclusiv absorbția energiei electromagnetice, transformarea acesteia în căldură și distribuirea uniformă a căldurii pe substrat. Această încălzire uniformă este esențială pentru creșterea unor pelicule subțiri uniforme, cu grosime și compoziție precise.
Tipuri de susceptori:
1. Susceptori de grafit: susceptorii de grafit sunt adesea acoperiți cu un strat protector, cum ar ficarbură de siliciu (SiC), care este cunoscut pentru conductivitate termică și stabilitate ridicată. TheAcoperire SiCoferă o suprafață dură, protectoare, care rezistă la coroziune și degradare la temperaturi ridicate.
2. Susceptori din carbură de siliciu (SiC): Acești susceptori sunt fabricați în întregime din SiC și au stabilitate termică excelentă și rezistență la uzură. Susceptorii SiC sunt adecvați în special pentru procese la temperaturi înalte și medii corozive.
Cum funcționează susceptorii în MOCVD:
În procesul MOCVD, precursorii sunt introduși în camera de reacție unde se descompun și reacționează pentru a forma o peliculă subțire pe substrat. Susceptorul joacă un rol vital prin asigurarea că substratul este încălzit uniform, ceea ce este esențial pentru obținerea proprietăților consistente ale filmului pe întreaga suprafață a substratului. Materialul și designul susceptorului sunt selectate cu atenție pentru a îndeplini cerințele specifice ale procesului de depunere, cum ar fi intervalul de temperatură și compatibilitatea chimică.
Beneficiile utilizării susceptorilor de înaltă calitate:
• Calitate îmbunătățită a filmului: prin furnizarea unei distribuții uniforme a căldurii, susceptorul ajută la obținerea unor filme cu grosime și compoziție consistente, ceea ce este esențial pentru performanța dispozitivelor semiconductoare.
• Eficiență îmbunătățită a procesului: Susceptorii de înaltă calitate măresc eficiența generală a procesului MOCVD prin reducerea probabilității de defecte și creșterea randamentului filmelor utilizabile.
• Durată de viață și fiabilitate: Susceptorii fabricați din materiale durabile precum SiC asigură fiabilitatea pe termen lung și reduc costurile de întreținere.
Susceptorul este o componentă integrală în procesul MOCVD și afectează direct calitatea și eficiența depunerii filmului subțire. Pentru mai multe informatii despre marimile disponibile, susceptorii MOCVD si preturi, nu ezitati sa ne contactati. Inginerii noștri vor fi bucuroși să vă sfătuiască cu privire la materialele potrivite și să vă răspundă la toate întrebările.
Telefon: +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Ora postării: 12-aug-2024