Placa cu carbură de siliciueste fabricat din pulbere de siliciu de înaltă puritate și pulbere de carbon de înaltă puritate ca materii prime, iar cristalul de carbură de siliciu este crescut prin metoda de transfer fizic al vaporilor (PVT) și procesat înplachetă cu carbură de siliciu.
① Sinteza materiei prime.Pulbere de siliciu de înaltă puritate și pulbere de carbon de înaltă puritate au fost amestecate într-un anumit raport, iar particulele de carbură de siliciu au fost sintetizate la temperaturi ridicate peste 2.000 ℃.După zdrobire, curățare și alte procese, sunt pregătite materiile prime de pulbere de carbură de siliciu de înaltă puritate care îndeplinesc cerințele de creștere a cristalelor.
② Creșterea cristalelor.Folosind pulbere SIC de înaltă puritate ca materie primă, cristalul a fost crescut prin metoda transferului fizic de vapori (PVT) utilizând un cuptor de creștere a cristalelor auto-dezvoltat.
③ procesare lingouri.Lingoul de cristal de carbură de siliciu obținut a fost orientat cu un orientator cu raze X cu un singur cristal, apoi măcinat și laminat și prelucrat în cristal de carbură de siliciu cu diametru standard.
④ Tăiere de cristal.Folosind echipamente de tăiere cu mai multe linii, cristalele de carbură de siliciu sunt tăiate în foi subțiri cu o grosime de cel mult 1 mm.
⑤ Măcinarea așchiilor.Placa este măcinată până la planeitatea și rugozitatea dorite prin fluide de măcinare cu diamante de diferite dimensiuni ale particulelor.
⑥ Lustruire cu așchii.Carbura de siliciu lustruită fără deteriorarea suprafeței a fost obținută prin lustruire mecanică și lustruire mecanică chimică.
⑦ Detectare cip.Utilizați microscop optic, difractometru cu raze X, microscop cu forță atomică, tester de rezistivitate fără contact, tester de planeitate a suprafeței, tester cuprinzător de defecte de suprafață și alte instrumente și echipamente pentru a detecta densitatea microtubulilor, calitatea cristalului, rugozitatea suprafeței, rezistivitate, deformare, curbură, modificarea grosimii, zgârietura suprafeței și alți parametri ai plachetei cu carbură de siliciu.În conformitate cu aceasta, se determină nivelul de calitate al cipului.
⑧ Curățarea așchiilor.Foaia de lustruire cu carbură de siliciu este curățată cu agent de curățare și apă pură pentru a îndepărta lichidul de lustruire reziduală și alte murdărie de suprafață de pe foaia de lustruit, iar apoi napolitana este suflată și uscată cu azot de puritate ultra-înaltă și mașină de uscare;Placa este încapsulată într-o cutie de foaie curată într-o cameră super-curată pentru a forma o placă de carbură de siliciu gata de utilizare în aval.
Cu cât dimensiunea cipului este mai mare, cu atât tehnologia corespunzătoare de creștere și procesare a cristalelor este mai dificilă și cu cât eficiența de fabricație a dispozitivelor din aval este mai mare, cu atât costul unitar este mai mic.
Ora postării: 24-nov-2023