Barcă izostatică din grafit PECVD

Scurtă descriere:

Barca izostatică din grafit PECVD este utilizată pe scară largă în diverse legături ale producției de semiconductori, cum ar fi depunerea filmului de polisiliciu, depunerea filmului de oxid, depunerea filmului de nitrură etc. Performanța sa excelentă o face un purtător ideal de napolitană în procesul PECVD.

Trimiteți-ne un e-mail

Detaliu produs

Etichete de produs

Barca cu grafit PECVD izostatic SEMICERA este un produs din grafit de înaltă puritate, de înaltă densitate, conceput pentru suportul plachetelor în procesul PECVD (depunere chimică de vapori îmbunătățită cu plasmă). SEMICERA folosește tehnologie avansată de presare izostatică pentru a se asigura că barca din grafit are o rezistență excelentă la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune, stabilitate dimensională și o bună conductivitate termică, care este un consumabil indispensabil în procesul de fabricație a semiconductorilor.

Barca din grafit PECVD izostatic SEMICERA are următoarele avantaje:

▪ Puritate ridicată: Materialul de grafit are o puritate ridicată și un conținut scăzut de impurități pentru a evita contaminarea suprafeței plachetei.

▪ Densitate ridicată: densitate mare, rezistență mecanică ridicată, poate rezista la temperaturi ridicate și la mediu de vid ridicat.

▪ Stabilitate dimensională bună: modificare dimensională mică la temperatură ridicată pentru a asigura stabilitatea procesului.

▪ Conductivitate termică excelentă: transferă eficient căldura pentru a preveni supraîncălzirea plachetelor.

▪ Rezistență puternică la coroziune: Capabil să reziste la eroziune de către diferite gaze corozive și plasmă.

Parametru de performanță	semicera	SGL R6510	Parametru de performanță
Densitate în vrac (g/cm3)	1,91	1,83	1,85
Rezistența la încovoiere (MPa)	63	60	49
Rezistența la compresiune (MPa)	135	130	103
Duritate Shore (HS)	70	64	60
Coeficient de dilatare termică (10-6/K)	85	105	130
Coeficient de dilatare termică (10-6/K)	5,85	4.2	5.0
Rezistivitate (μΩm)	11-13	13	10

Avantajele alegerii noastre:
▪ Selectarea materialelor: Materialele de grafit de înaltă puritate sunt utilizate pentru a asigura calitatea produsului.
▪ Tehnologia de prelucrare: Presarea izostatică este utilizată pentru a asigura densitatea și uniformitatea produsului.
▪ Personalizarea dimensiunilor: Bărcile din grafit de diferite dimensiuni și forme pot fi personalizate în funcție de nevoile clienților.
▪ Tratarea suprafeței: Sunt furnizate o varietate de metode de tratare a suprafeței, cum ar fi acoperirea cu carbură de siliciu, nitrură de bor etc., pentru a satisface diferite cerințe de proces.