Semicera de înaltă puritatePaletă din carbură de siliciueste meticulos conceput pentru a satisface cerințele stricte ale proceselor moderne de fabricare a semiconductorilor. AcestVâslă cantilever SiCexcelează în medii cu temperaturi ridicate, oferind stabilitate termică și durabilitate mecanică de neegalat. Structura Cantilever SiC este construită pentru a rezista la condiții extreme, asigurând o manipulare fiabilă a plachetelor pe parcursul diferitelor procese.
Una dintre inovațiile cheie aleVâslă SiCeste designul său ușor, dar robust, care permite integrarea ușoară în sistemele existente. Conductivitatea sa termică ridicată ajută la menținerea stabilității plachetelor în timpul fazelor critice, cum ar fi gravarea și depunerea, minimizând riscul de deteriorare a plachetelor și asigurând randamente mai mari de producție. Utilizarea carburii de siliciu de înaltă densitate în construcția paletei îi sporește rezistența la uzură, oferind o durată de viață extinsă și reducând nevoia de înlocuiri frecvente.
Semicera pune un accent puternic pe inovare, oferind aVâslă cantilever SiCcare nu numai că îndeplinește, dar și depășește standardele din industrie. Această paletă este optimizată pentru utilizare în diverse aplicații de semiconductor, de la depunere la gravare, unde precizia și fiabilitatea sunt cruciale. Prin integrarea acestei tehnologii de ultimă oră, producătorii se pot aștepta la o eficiență îmbunătățită, costuri de întreținere reduse și calitate constantă a produsului.
Proprietățile fizice ale carburii de siliciu recristalizate | |
Proprietate | Valoare tipică |
Temperatura de lucru (°C) | 1600°C (cu oxigen), 1700°C (mediu de reducere) |
continut SiC | > 99,96% |
Conținut gratuit Si | < 0,1% |
Densitate în vrac | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porozitate aparentă | < 16% |
Rezistența la compresiune | > 600 MPa |
Rezistența la îndoire la rece | 80-90 MPa (20°C) |
Rezistența la îndoire la cald | 90-100 MPa (1400°C) |
Expansiune termică la 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Conductivitate termică @1200°C | 23 W/m•K |
Modulul elastic | 240 GPa |
Rezistenta la socuri termice | Extrem de bine |