Purtător/Susceptor SiC de înaltă puritate

Scurtă descriere:

Discul lagăr cu carbură de siliciu este cunoscut și sub numele de tavă SIC, disc de gravare cu carbură de siliciu, disc de gravare ICP. Tava din carbură de siliciu pentru gravarea cu LED (tavă SiC) φ600mm este un accesoriu special pentru gravarea adâncă a siliciului (mașină de gravare ICP).

Trimiteți-ne un e-mail

Detaliu produs

Etichete de produs

Descriere

Ceramica cu carbură de siliciu are proprietăți mecanice excelente la temperatura camerei, cum ar fi rezistență ridicată, duritate ridicată, modul elastic ridicat etc., are, de asemenea, o stabilitate excelentă la temperatură ridicată, cum ar fi conductivitate termică ridicată, coeficient scăzut de dilatare termică și rigiditate specifică și optică bună. performanta de prelucrare.
Sunt potrivite în special pentru producerea de piese ceramice de precizie pentru echipamente cu circuite integrate, cum ar fi mașinile de litografie, utilizate în principal pentru fabricarea suportului/suceptorului SiC, a bărcii napolitane SiC, a discului de aspirare, a plăcii de răcire cu apă, a reflectorului de măsurare de precizie, a grătarului și a altor piese structurale ceramice.

purtător2

purtător3

purtător4

Avantaje

Rezistență la temperaturi ridicate: utilizare normală la 1800 ℃
Conductivitate termică ridicată: echivalent cu materialul de grafit
Duritate mare: duritate a doua numai după diamant, nitrură de bor
Rezistență la coroziune: acidul puternic și alcalii nu au coroziune, rezistența la coroziune este mai bună decât carbura de tungsten și alumina
Greutate ușoară: densitate scăzută, aproape de aluminiu
Fără deformare: coeficient scăzut de dilatare termică
Rezistență la șoc termic: poate rezista la schimbări bruște de temperatură, poate rezista șocului termic și are performanțe stabile
Purtătorul de carbură de siliciu, cum ar fi suportul de gravare sic, susceptor de gravare ICP, sunt utilizate pe scară largă în semiconductori CVD, pulverizare prin pulverizare în vid etc. Putem oferi clienților purtători de placă personalizate de materiale de siliciu și carbură de siliciu pentru a satisface diferite aplicații.

Avantaje

Proprietate	Valoare	Metodă
Densitate	3,21 g/cc	Chiuvetă-flot și dimensiune
Căldura specifică	0,66 J/g °K	Bliț laser pulsat
Rezistența la încovoiere	450 MPa560 MPa	Îndoire în 4 puncte, îndoire RT4 în puncte, 1300°
Duritatea la fractură	2,94 MPa m1/2	Microindentarea
Duritate	2800	Vicker's, încărcătură de 500 g
Modulul elastic Modulul Young	450 GPa430 GPa	4 pt bend, RT4 pt bend, 1300 °C
Dimensiunea boabelor	2 – 10 µm	SEM

Profilul Companiei

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. este un furnizor de top de ceramică semiconductoare avansată și singurul producător din China care poate furniza simultan ceramică cu carbură de siliciu de înaltă puritate (în special SiC recristalizat) și acoperire CVD SiC. În plus, compania noastră este, de asemenea, dedicată domeniilor ceramice, cum ar fi alumina, nitrură de aluminiu, zirconiu și nitrură de siliciu etc.

Produsele noastre principale includ: disc de gravare cu carbură de siliciu, cârlig de barcă cu carbură de siliciu, barcă cu napolitană din carbură de siliciu (fotovoltaic și semiconductor), tub de cuptor cu carbură de siliciu, paletă cantilever din carbură de siliciu, mandrine din carbură de siliciu, grinda din carbură de siliciu, precum și acoperirea CVD SiC și TaC acoperire. Produsele utilizate în principal în industriile semiconductoare și fotovoltaice, cum ar fi echipamente pentru creșterea cristalelor, epitaxie, gravare, ambalare, cuptoare de acoperire și difuzie etc.
despre (2)