Tavă personalizată ICP Semiconductor (gravare)

Scurtă descriere:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. este un furnizor de frunte specializat în consumabile pentru napolitane și semiconductoare avansate.Suntem dedicați furnizării de produse de înaltă calitate, fiabile și inovatoare pentru fabricarea semiconductoarelor,industria fotovoltaicași alte domenii conexe.

Linia noastră de produse include produse din grafit acoperite cu SiC/TaC și produse ceramice, cuprinzând diverse materiale, cum ar fi carbură de siliciu, nitrură de siliciu și oxid de aluminiu etc.

În calitate de furnizor de încredere, înțelegem importanța consumabilelor în procesul de fabricație și ne angajăm să furnizăm produse care îndeplinesc cele mai înalte standarde de calitate pentru a satisface nevoile clienților noștri.

 

Detaliu produs

Etichete de produs

Descriere produs

Compania noastra ofera servicii de proces de acoperire cu SiC prin metoda CVD pe suprafata grafitului, ceramicii si a altor materiale, astfel incat gazele speciale care contin carbon si siliciu sa reactioneze la temperatura ridicata pentru a obtine molecule de SiC de inalta puritate, molecule depuse pe suprafata materialelor acoperite, formând stratul protector SIC.

Caracteristici principale:

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate:

rezistența la oxidare este încă foarte bună atunci când temperatura este de până la 1600 C.

2. Puritate ridicată: realizat prin depunere chimică de vapori în condiții de clorinare la temperatură ridicată.

3. Rezistență la eroziune: duritate mare, suprafață compactă, particule fine.

4. Rezistență la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.

3

Specificații principale ale acoperirii CVD-SIC

Proprietăți SiC-CVD

Structura de cristal

faza β FCC

Densitate

g/cm³

3.21

Duritate

Duritatea Vickers

2500

Dimensiunea boabelor

μm

2~10

Puritatea chimică

%

99,99995

Capacitate termică

J·kg-1 ·K-1

640

Temperatura de sublimare

2700

Forța felexurală

MPa (RT 4 puncte)

415

Modulul Young

Gpa (îndoire 4 pt, 1300 ℃)

430

Expansiune termică (CTE)

10-6K-1

4.5

Conductivitate termică

(W/mK)

300


  • Anterior:
  • Următorul: