Substrat SiC de tip N de 6 inchi

Scurtă descriere:

Semicera oferă o gamă largă de napolitane SiC 4H-8H. De mulți ani, suntem producători și furnizori de produse pentru industriile semiconductoare și fotovoltaice. Produsele noastre principale includ: plăci de gravare cu carbură de siliciu, remorci pentru bărci cu carbură de siliciu, barci cu carbură de siliciu (PV și semiconductor), tuburi pentru cuptor cu carbură de siliciu, palete cantilever din carbură de siliciu, mandrine din carbură de siliciu, grinzi din carbură de siliciu, precum și acoperiri CVD SiC și Acoperiri TaC. Acoperă majoritatea piețelor europene și americane. Așteptăm cu nerăbdare să fim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

 

Detaliu produs

Etichete de produs

Materialul monocristal de carbură de siliciu (SiC) are o lățime mare de bandă interzisă (~Si de 3 ori), conductivitate termică ridicată (~Si de 3,3 ori sau GaAs de 10 ori), rată mare de migrare a saturației electronilor (~Si de 2,5 ori), electricitate mare de defalcare câmp (~Si de 10 ori sau GaAs de 5 ori) și alte caracteristici remarcabile.

Materialele semiconductoare de a treia generație includ în principal SiC, GaN, diamante etc., deoarece lățimea sa de bandă interzisă (Eg) este mai mare sau egală cu 2,3 ​​electron volți (eV), cunoscută și sub denumirea de materiale semiconductoare cu bandă largă. În comparație cu materialele semiconductoare de prima și a doua generație, materialele semiconductoare de a treia generație au avantajele conductivității termice ridicate, câmpului electric de defalcare mare, vitezei mari de migrare a electronilor saturati și energiei de legare ridicate, care pot satisface noile cerințe ale tehnologiei electronice moderne pentru înaltă calitate. temperatură, putere mare, presiune înaltă, frecvență înaltă și rezistență la radiații și alte condiții dure. Are perspective importante de aplicare în domeniile apărării naționale, aviației, aerospațiale, explorării petrolului, stocării optice etc. și poate reduce pierderile de energie cu peste 50% în multe industrii strategice, cum ar fi comunicațiile în bandă largă, energia solară, producția de automobile, iluminat cu semiconductor și rețea inteligentă și poate reduce volumul echipamentelor cu mai mult de 75%, ceea ce are o importanță de hotar pentru dezvoltarea științei și tehnologiei umane.

Semicera Energy poate oferi clienților substrat de carbură de siliciu conductiv (conductiv), semiizolant (semiizolant), HPSI (semiizolant de înaltă puritate); În plus, putem oferi clienților foi epitaxiale omogene și eterogene din carbură de siliciu; De asemenea, putem personaliza foaia epitaxială în funcție de nevoile specifice ale clienților și nu există o cantitate minimă de comandă.

Articole

Productie

Cercetare

Manichin

Parametrii cristalului

Politip

4H

Eroare de orientare la suprafață

<11-20 >4±0,15°

Parametrii electrici

Dopant

azot de tip n

Rezistivitate

0,015-0,025 ohm·cm

Parametri mecanici

Diametru

150,0±0,2mm

Grosime

350±25 μm

Orientare plată primară

[1-100]±5°

Lungime plată primară

47,5±1,5mm

Apartament secundar

Nici unul

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Arc

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Urzeală

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Rugozitate frontală (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Structura

Densitatea microconductelor

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Impurități metalice

≤5E10atomi/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Calitate față

Faţă

Si

Finisaj de suprafață

Si-face CMP

Particule

≤60ea/napolitana (dimensiune≥0,3μm)

NA

Zgârieturi

≤5ea/mm. Lungime cumulativă ≤Diametru

Lungime cumulativă≤2*Diametru

NA

Coaja de portocală/sâmburi/pete/striații/crăpături/contaminare

Nici unul

NA

Așchii de margine/indentări/fractură/plăci hexagonale

Nici unul

Zone politip

Nici unul

Suprafata cumulata≤20%

Suprafata cumulata≤30%

Marcaj frontal cu laser

Nici unul

Calitate din spate

Finisaj spate

C-face CMP

Zgârieturi

≤5ea/mm, lungime cumulativă≤2*Diametru

NA

Defecte din spate (așchii de margini/indentări)

Nici unul

Rugozitatea spatelui

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Marcare cu laser pe spate

1 mm (de la marginea de sus)

Margine

Margine

Teşitură

Ambalare

Ambalare

Epi-gata cu ambalare în vid

Ambalare casete multi-plachete

*Note: „NA” înseamnă nicio solicitare. Articolele nemenționate se pot referi la SEMI-STD.

tech_1_2_size
Napolitane SiC

Semicera Locul de munca Locul de muncă semicer 2 Mașină de echipare Procesare CNN, curățare chimică, acoperire CVD Serviciul nostru


  • Anterior:
  • Următorul: