a lui Semicera10x10mm substrat nepolar din aluminiu cu plan Meste meticulos conceput pentru a satisface cerințele exigente ale aplicațiilor optoelectronice avansate. Acest substrat are o orientare nepolară în plan M, care este esențială pentru reducerea efectelor de polarizare în dispozitive precum LED-urile și diodele laser, ceea ce duce la performanță și eficiență îmbunătățite.
The10x10mm substrat nepolar din aluminiu cu plan Meste realizat cu o calitate cristalină excepțională, asigurând densități minime de defect și integritate structurală superioară. Acest lucru îl face o alegere ideală pentru creșterea epitaxială a filmelor de nitrură III de înaltă calitate, care sunt esențiale pentru dezvoltarea dispozitivelor optoelectronice de ultimă generație.
Ingineria de precizie a Semicera asigură că fiecare10x10mm substrat nepolar din aluminiu cu plan Moferă grosime constantă și planeitate a suprafeței, care sunt cruciale pentru depunerea uniformă a filmului și fabricarea dispozitivului. În plus, dimensiunea compactă a substratului îl face potrivit atât pentru medii de cercetare, cât și pentru medii de producție, permițând o utilizare flexibilă într-o varietate de aplicații. Cu stabilitatea sa termică și chimică excelentă, acest substrat oferă o bază de încredere pentru dezvoltarea tehnologiilor optoelectronice de ultimă oră.
| Articole | Productie | Cercetare | Manichin |
| Parametrii cristalului | |||
| Politip | 4H | ||
| Eroare de orientare la suprafață | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametrii electrici | |||
| Dopant | azot de tip n | ||
| Rezistivitate | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Parametri mecanici | |||
| Diametru | 150,0±0,2mm | ||
| Grosime | 350±25 μm | ||
| Orientare plată primară | [1-100]±5° | ||
| Lungime plată primară | 47,5±1,5mm | ||
| Apartament secundar | Nici unul | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Arc | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Urzeală | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Rugozitate frontală (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Structura | |||
| Densitatea microconductelor | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Impurități metalice | ≤5E10atomi/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Calitate față | |||
| Faţă | Si | ||
| Finisaj de suprafață | Si-face CMP | ||
| Particule | ≤60ea/napolitana (dimensiune≥0,3μm) | NA | |
| Zgârieturi | ≤5ea/mm. Lungime cumulativă ≤Diametru | Lungime cumulativă≤2*Diametru | NA |
| Coaja de portocală/sâmburi/pete/striații/crăpături/contaminare | Nici unul | NA | |
| Așchii de margine/indentări/fractură/plăci hexagonale | Nici unul | ||
| Zone politip | Nici unul | Suprafata cumulata≤20% | Suprafata cumulata≤30% |
| Marcaj frontal cu laser | Nici unul | ||
| Calitate din spate | |||
| Finisaj spate | C-face CMP | ||
| Zgârieturi | ≤5ea/mm, lungime cumulativă≤2*Diametru | NA | |
| Defecte din spate (așchii de margini/indentări) | Nici unul | ||
| Rugozitatea spatelui | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Marcare cu laser pe spate | 1 mm (de la marginea de sus) | ||
| Margine | |||
| Margine | Teşit | ||
| Ambalare | |||
| Ambalare | Epi-gata cu ambalare în vid Ambalare casete multi-plachete | ||
| *Note: „NA” înseamnă nicio solicitare. Articolele nemenționate se pot referi la SEMI-STD. | |||
