Introducerea suportului de napolitană
CATAGORIA PRODUSE
▶Sistem purtător de napolitane pentru procesele PECVD și TALOX
• Barcă din grafit PECVD și TALOX (M4~M12)
• Barcă SM verticală (M4, M6)
• Piesă din grafit pentru implant și duș (M4~M6)
• Tavă C/C și acoperire ceramică
• Tavă metalică RIE și acoperire ceramică
• Etanșare în vid: O-Ring și SQ-Ring
▶Procesul de transfer de texturare și gravare umedă
• LSC H-Carrier sau casetă (M4~M12)
• LSC V-Carrier sau casetă (M4~M12)
• suport ASC sau casetă (M4, M6)
• Cutie de transport și depozitare W/F (M4~M12)
• Seria roți de transport (role).
▶Purtător de celule solare și purtător de metal
• Suport sau casetă TRC (M4~M12)
• Revista (cu CUREA)
BARCA DE GRAFIT (Tip H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
BARCA DE GRAFIT (Tip H)
21P6-240CT WF M4~M12)
BARCA DE GRAFIT (Tip H)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
BARCA DE GRAFIT (Tip H)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
BARCA DE GRAFIT (Tip H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
SUPORT ȘI CUTIE DE DEPOZITARE WF (~M12)
TAVĂ C/C sau TRANSPORT (M4~M10)
TAVĂ C/C sau TRANSPORT (M4~M10)
BARCĂ VERTICALĂ (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRANSPORTATOR TRC(~M12)
TRANSPORTATOR TRC(~M12)
BARCA DE GRAFIT (M12)
Sistem purtător de napolitane pentru procesul PECVD
▶ BARCA DE GRAFIT (Designed CT) Proces M10/M12
• CONCEPTUL DE PROIECTARE SPECIALĂ
▶ BARCA DE GRAFIT (Designed CT) Proces M4/M6
▶ Piese accesorii BATĂ
▶ BARCĂ VERTICALĂ-161.7mm WAFER
▶ BARCA VERTICAL-166mm WAFER
▶ BARCA VERTICAL-161.7mm, 166mm WAFER
Purtător de celule solare și suport metalic TRC
TIP: Automatizare
DIMENSIUNEA PLACĂ: ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
UTILIZARE: Carry (caseta)
CAPACITATE: 100 coli
PAS: 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
DIMENSIUNE: Aproximativ 559×220×220MM
Aproximativ 712 × 260 × 260 mm
AVANTAJ: Atmosferă
MATERIAL: FLACĂ, BARĂ LATERALĂ-Aluminiu (anodizare)
PLACA LATERALĂ-POM (Antistatic)
Capacul barei inferioare-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (LINIA UTILIZATORULUI)
TRC-METAL CARRIER (LINIA UTILIZATORULUI)
TRC-METAL CARRIER (LINIA UTILIZATORULUI)
PLACĂ DE DUȘ & IMPLANT, SUPORT
