Laminarea se referă la procesul de șlefuire a diametrului exterior al unei tije de siliciu monocristal într-o tijă de un singur cristal de diametrul necesar folosind o roată de șlefuit cu diamant și de șlefuire a unei suprafețe de referință cu margine plată sau a unei caneluri de poziționare a tijei de un singur cristal.
Suprafața cu diametrul exterior al tijei cu un singur cristal preparată de cuptorul cu un singur cristal nu este netedă și plată, iar diametrul său este mai mare decât diametrul plachetei de siliciu utilizată în aplicarea finală. Diametrul tijei necesar poate fi obținut prin rularea diametrului exterior.
Laminorul are funcția de șlefuire a suprafeței de referință a marginii plane sau a canelurii de poziționare a tijei de siliciu monocristal, adică de a efectua testarea direcțională pe tija monocristalului cu diametrul necesar. Pe același echipament de laminor, suprafața de referință a muchiei plane sau canelura de poziționare a tijei monocristaloase este șlefuită. În general, tijele monocristal cu un diametru mai mic de 200 mm folosesc suprafețe de referință cu margini plate, iar tijele monocristal cu un diametru de 200 mm și mai sus folosesc caneluri de poziționare. Tijele de un singur cristal cu un diametru de 200 mm pot fi, de asemenea, realizate cu suprafețe de referință cu margini plate, după cum este necesar. Scopul suprafeței de referință de orientare a tijei monocristaline este de a răspunde nevoilor operațiunii de poziționare automată a echipamentelor de proces în fabricarea de circuite integrate; pentru a indica orientarea cristalului și tipul de conductivitate a plachetei de siliciu etc., pentru a facilita managementul producției; muchia de poziţionare principală sau canelura de poziţionare este perpendiculară pe direcţia <110>. În timpul procesului de ambalare a cipurilor, procesul de tăiere cubulețe poate provoca scindarea naturală a plachetei, iar poziționarea poate preveni, de asemenea, generarea de fragmente.
Principalele scopuri ale procesului de rotunjire includ: Îmbunătățirea calității suprafeței: rotunjirea poate elimina bavurile și denivelările de pe suprafața plachetelor de siliciu și poate îmbunătăți netezimea suprafeței plachetelor de siliciu, ceea ce este foarte important pentru procesele ulterioare de fotolitografie și gravare. Reducerea stresului: Se poate genera stres în timpul tăierii și prelucrării plachetelor de siliciu. Rotunjirea poate ajuta la eliberarea acestor tensiuni și la prevenirea ruperii plachetelor de siliciu în procesele ulterioare. Îmbunătățirea rezistenței mecanice a plăcilor de siliciu: în timpul procesului de rotunjire, marginile plăcilor de siliciu vor deveni mai fine, ceea ce ajută la îmbunătățirea rezistenței mecanice a plachetelor de siliciu și la reducerea daunelor în timpul transportului și utilizării. Asigurarea preciziei dimensionale: Prin rotunjire, se poate asigura precizia dimensională a plachetelor de siliciu, ceea ce este crucial pentru fabricarea dispozitivelor semiconductoare. Îmbunătățirea proprietăților electrice ale plăcilor de siliciu: Prelucrarea marginilor plăcilor de siliciu are o influență importantă asupra proprietăților lor electrice. Rotunjirea poate îmbunătăți proprietățile electrice ale plăcilor de siliciu, cum ar fi reducerea curentului de scurgere. Estetică: Marginile plachetelor de siliciu sunt mai fine și mai frumoase după rotunjire, ceea ce este necesar și pentru anumite scenarii de aplicare.
Ora postării: 30-iul-2024