Procesul de gravare uscată constă de obicei din patru stări de bază: înainte de gravare, gravare parțială, doar gravare și supragravare. Principalele caracteristici sunt rata de gravare, selectivitatea, dimensiunea critică, uniformitatea și detecția punctului final. Figura 1 Înainte de gravare Figura 2 Gravare parțială Figura...
Citeşte mai mult