Filmele subțiri utilizate în fabricarea semiconductorilor au toate rezistență, iar rezistența filmului are un impact direct asupra performanței dispozitivului. De obicei nu măsurăm rezistența absolută a filmului, ci folosim rezistența foii pentru a o caracteriza.
Ce sunt rezistența foii și rezistivitatea volumului?
Rezistivitatea de volum, cunoscută și ca rezistivitate de volum, este o proprietate inerentă a unui material care caracterizează cât de mult împiedică materialul fluxul de curent electric. Simbolul utilizat în mod obișnuit reprezintă ρ, unitatea este Ω.
Rezistența foii, cunoscută și sub denumirea de rezistență a foii, denumirea engleză este sheet resistance, care se referă la valoarea rezistenței filmului pe unitate de suprafață. Simbolurile utilizate în mod obișnuit Rs sau ρs pentru a exprima, unitatea este Ω/sq sau Ω/□
Relația dintre cele două este: rezistența foii = rezistivitatea volumului/grosimea filmului, adică Rs =ρ/t
De ce să măsori rezistența foii?
Măsurarea rezistenței absolute a unei pelicule necesită cunoașterea precisă a dimensiunilor geometrice ale peliculei (lungime, lățime, grosime), care are multe variabile și este foarte complexă pentru peliculele foarte subțiri sau de formă neregulată. Rezistența foii este legată doar de grosimea filmului și poate fi testată rapid și direct, fără calcule complicate de dimensiune.
Ce filme trebuie să măsoare rezistența foii?
În general, filmele conductoare și filmele semiconductoare trebuie măsurate pentru rezistența pătrată, în timp ce filmele izolatoare nu trebuie măsurate.
În dopajul semiconductorilor, se măsoară și rezistența foliei de siliciu.
Cum se măsoară rezistența pătrată?
Metoda cu patru sonde este utilizată în general în industrie. Metoda cu patru sonde poate măsura rezistența pătrată variind de la 1E-3 la 1E+9Ω/sq. Metoda cu patru sonde poate evita erorile de măsurare din cauza rezistenței de contact dintre sondă și probă.
Metode de măsurare:
1) Așezați patru sonde dispuse liniar pe suprafața probei.
2) Aplicați un curent constant între cele două sonde exterioare.
3) Determinați rezistența prin măsurarea diferenței de potențial dintre cele două sonde interne
RS: rezistența foii
ΔV: modificarea tensiunii măsurate între sondele interne
I : Curent aplicat între sondele exterioare
Ora postării: 29-mar-2024